Gebraucht KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #293603502 zu verkaufen

ID: 293603502
Wafer inspection system.
KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN ist eine in der Halbleiterindustrie verwendete Wafertest- und Messtechnik. Es wurde entwickelt, um Merkmale auf Halbleiterscheiben mit hoher Genauigkeit und Empfindlichkeit zu messen, die eine Überwachung und Qualitätskontrolle des Herstellungsprozesses ermöglichen. Es ist auch zur Fehlerinspektion fähig und kann zur Prozessentwicklung und Retikelqualifizierung verwendet werden. Das KLA 4500 SURFSCAN-System verwendet eine helle Lichtquelle, lineare motorisierte Stufen, eine interferometrische Laserstufe und eine CCD-Kamera, um Daten schnell und genau zu erfassen. Die Einheit ist zur Vermessung von zwei oder vier Zoll Halbleiterscheiben ausgelegt. Es ist in der Lage, die Waferdicke, die gesamte Substratebene und die Merkmalsgröße zu messen. Für die Prozessentwicklung und Retikelqualifizierung ist die Maschine auf die Messung verschiedener Elektronenstrahlmuster auf dem Wafer spezialisiert. Die laserinterferometrische Stufe verleiht dem Werkzeug die verbesserte Genauigkeit und überlegene Stabilität, die für die hochauflösende Messtechnik erforderlich sind. Die Bewegung der Bühne wird durch einen Linearmotor angetrieben, der eine schnelle und genaue Bewegungssteuerung ermöglicht. Die CCD-Kamera hat eine hohe Auflösung und ist in der Lage, Bilddaten mit höherem Dynamikbereich zu erfassen, sodass sie sehr schwache Funktionen auf dem Wafer erkennen kann. Das Asset verfügt auch über einen fortschrittlichen integrierten Mikroprozessor. Dadurch kann das Modell Wafer-Tests und Messtechnik automatisch durchführen. Es ist mit einer benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche mit intuitiven Bedienelementen und anpassbaren Messungen ausgestattet. TENCOR 4500 SURFSCAN ist ein hocheffizientes und genaues Werkzeug für Wafertests und Messtechnik. Seine fortschrittlichen Eigenschaften und hohe Präzision ermöglichen es ihm, eine zuverlässige Qualitätskontrolllösung für die weltweit führenden Halbleiterhersteller bereitzustellen. Es ist ein unschätzbares Gut in der Branche und ist heute ein Standard-Teil der Fertigungsumgebung.
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