Gebraucht KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #293605541 zu verkaufen

ID: 293605541
Weinlese: 1987
Wafer inspection system 1987 vintage.
KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die sich ideal für den Einsatz in Halbleiterfabriken und anderen waferintensiven Umgebungen eignet. Dieses System bietet eine einzigartige Fähigkeit zur Analyse der Oberflächenmorphologie und zur Messung der Schichtdicke, so dass die Mitarbeiter von Process Engineers und Yield Management schnell und präzise Einblick in ihre Produktqualität gewinnen können. KLA 4500 SURFSCAN, basierend auf der äußerst erfolgreichen 4500 Plattform, bietet eine zerstörungsfreie optische Oberflächenmesseinheit, die speziell für die Charakterisierung der gesamten Oberfläche eines Testwafers entwickelt wurde. Diese Maschine misst das Oberflächenprofil und Parameter wie Schritthöhe, Rauhigkeit, Bogen und Verdrehung mit einer Tiefenauflösung von besser als 1 Nanometer. Das Werkzeug hat auch die Fähigkeit, die Schichtdicke von bis zu 400 nm an Photoresists und Metallen sowie Oxid und Nitriden zu messen. TENCOR 4500 SURFSCAN wurde entwickelt, um sehr benutzerfreundlich mit dedizierten Operationen und Qualitätssicherungsmodi zu sein. Die nahtlose Integration von Anwendersteuerungssoftware und Wafer-Messtechnik vereinfacht den Betrieb, ohne auf Genauigkeit und Leistung zu verzichten. Es bietet eine Vielzahl von Feedback-Optionen für Benutzer, um Prozessparameter in Echtzeit zu optimieren. Dazu gehören Echtzeit-SPC-Trenddaten und Visuals, On-Wafer-Messungen und automatisierte Prozessalgorithmen. Neben der Leistung des Modells wurde 4500 SURFSCAN auf optimale Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit ausgelegt. Die Ausrüstung ist temperatur- und vibrationstolerant, mit einem robusten Design für überlegene Langzeitleistung. Es bietet auch aktive Überwachung und Diagnose, um Wafer-Messfehler zu verhindern, und verfügt über integrierte Kalibrierroutinen, um Genauigkeit zu garantieren. KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN ist ein leistungsstarkes System, das eine beeindruckende Kombination aus Designpräzision, Genauigkeit und Zuverlässigkeit kombiniert. Prozessingenieure und Ertragsmanagement-Mitarbeiter haben Zugriff auf eine intuitive Oberfläche, um schnell und präzise Einblick in ihre Produktqualität zu erhalten. Dieses Gerät ist die perfekte Lösung für jede Wafer-Szene mit hoher Leistung, zuverlässigen Ergebnissen und einer kostengünstigen Möglichkeit, Prozessparameter zu optimieren und Einblicke in die Produktqualität zu gewinnen.
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