Gebraucht KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #293627875 zu verkaufen

ID: 293627875
Wafergröße: 4"
Wafer inspection system, 4" Process: GaAs.
KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN ist eine anspruchsvolle Messtechnik und Wafer-Prüfanlage für Halbleiterhersteller. Es dient zur Messung, Analyse und Bewertung von Produktionsscheiben für kritische Bemaßungen wie Dicke, Oberflächenebene und Schritthöhe. Das System wurde entwickelt, um Bedienern und Ingenieuren Echtzeit-Feedback zu liefern, um die Waferqualität zu erhalten und eine enge Prozesskontrolle zu gewährleisten. KLA 4500 SURFSCAN verwendet fortschrittliche Mikroskopietechniken, um eine hochauflösende 3D-Analyse von Oberflächen durchzuführen. Es verwendet einen Piezo-Scanner für eine schnelle und genaue Positionierung sowie eine helle weiße Lichtquelle, um die Probe zu beleuchten. Dies ermöglicht die Auflösung von Sub-Nanometern bei der Messung und Bewertung von Probenmerkmalen. Das Gerät ist in der Lage, Merkmale so klein wie 200nm zu erkennen und zu messen. TENCOR 4500 SURFSCAN ist in der Lage, verschiedene Arten von Waferkarten und topographischen Daten zu erzeugen. Dazu gehören eine Basiskarte, die die Oberfläche der Probe als Ganzes zeigt, sowie detaillierte Karten feinerer Unregelmäßigkeiten und 3D-Oberflächenprofile. Auf diese Weise lassen sich Bereiche von höchster Gefahr oder Besorgnis leicht lokalisieren und identifizieren. Die Maschine verfügt auch über eine Reihe von statistischen Analysetools, mit denen Benutzer schnell Daten wie CD-Statistiken, Auto-Focus Binning und Wafer Grade Maps generieren können. Diese Daten können verwendet werden, um Wafer mit einer eingestellten CD-Einheitlichkeitsspezifikation zu vergleichen und Ausreißer zu identifizieren. 4500 SURFSCAN Tool ist in der Lage, Daten für weitere Analysen oder Qualitätskontrollen zu speichern und zu exportieren. Das Asset kann auch verwendet werden, um Live-Warnungen zu generieren, wenn externe Parameter erfüllt sind, z. B. wenn ein Feature einen bestimmten Schwellenwert überschreitet. Dies liefert nahezu Echtzeit-Feedback, sodass Hersteller bei Bedarf sofortige Korrekturmaßnahmen ergreifen können. Zusammenfassend ist KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN ein leistungsstarkes Werkzeug, mit dem Wafer mit höchster Genauigkeit gemessen und inspiziert werden können, um eine enge Prozesskontrolle und Waferqualität zu gewährleisten. Das Modell ist in der Lage, detaillierte Datensätze, Kartierungsmerkmale und Auffälligkeiten zu generieren sowie Daten in Analysetools oder Qualitätskontrollsysteme von Drittanbietern zu exportieren.
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