Gebraucht KLA / TENCOR 50-0002-03 #199615 zu verkaufen

KLA/TENCOR 50-0002-03 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die den Halbleiterherstellern erweiterte Fehlererkennungsfunktionen bietet. Das KLA 50-0002-03 System enthält Funktionen wie automatische Wafer-Identifizierung, Wafer-Edge-Datenerfassung, optische Inspektion, elektrische Messtechnik, Overlay-Registrierung und standortübergreifende Vergleichsmöglichkeiten. Mit dem automatisierten Wafer-Identifikationsmerkmal kann das Gerät den richtigen Wafer genau identifizieren und entsprechend einen Inspektionsaufbau erzeugen. Das Wafer Edge Data Collection Feature sammelt Kantendaten für 10mm und 3mm Standorte zur Ausrichtung und Fokusstabilität. Die optische Inspektionsfunktion bietet eine statische und dynamische 3D-Fehlererkennung, die für eine Vielzahl von Fehlergrößen geeignet ist. Das elektrische Messtechnik-Merkmal misst eine breite Palette von elektrischen Parametern einschließlich Flächenwiderstand, Kontaktwiderstand, Kapazität und Leitfähigkeit. Zusätzlich kann die Maschine Delta-Widerstand, Leckstrom, Durchbruchspannung und Schwellen für dynamische elektrische Tests messen. Die Overlay-Registrierungsfunktion von TENCOR 50-0002-03 ermöglicht es Benutzern, Wafer-Ausrichtungs- und Overlay-Steuerung während der Messtechnik, Wafer-Handhabung und Belichtungsprozesse zu messen. Die standortübergreifenden Vergleichsmöglichkeiten ermöglichen es, Fehlerinspektionen und elektrische Messungen gleichzeitig während der Fertigungsprozesse durchzuführen und mit einem Standard, sogenannten Referenzstandorten, zu vergleichen. Für jeden Test können benutzerdefinierte Prüfparameter wie akzeptable Fehlerraten, Größenschwellen und Pass/Fail-Kriterien in das Tool eingegeben werden. Zusätzlich können Inspektionsdaten zur statistischen Auswertung in einer Datenbank gespeichert werden. Zusammenfassend ist 50-0002-03 ein Wafer-Test- und Messtechnik-Asset mit automatisierter Wafer-Identifikation, Wafer-Edge-Datenerfassung, optischer Inspektion, elektrischer Messtechnik, Overlay-Registrierung und standortübergreifenden Vergleichsfunktionen. Diese Funktionen bieten Benutzern die Möglichkeit, eine Vielzahl von elektrischen Parametern zu messen und zu vergleichen, Fehler zu erkennen und zu vergrößern und Ergebnisse für statistische Analysen zu speichern. Das Modell ist ideal für Halbleiterhersteller, die nach einer fortschrittlichen Fehlererkennung und Messtechnik suchen.