Gebraucht KLA / TENCOR 5105 #9117501 zu verkaufen

ID: 9117501
Inspection system.
KLA/TENCOR 5105 ist eine hochentwickelte Wafer-Prüf- und Messtechnik, die auf Präzisionsleistung und Genauigkeit ausgelegt ist. Es bietet die zuverlässigste und umfassendste Berichterstattung über eine breite Palette von messtechnischen Merkmalen auf einzelnen Waferkarten. Das System ist in der Lage, Parameter wie Filmspannung, Topographie, elektrische Eigenschaften, verschiedene DVD-Parameter, kritische Dimension, Overlay, Tiefenprofil, Seitenwandwinkel, Oberflächenrauhigkeit und 3D-Höhenbilder zu messen. Die fortschrittlichen Softwarelösungen ermöglichen die Überprüfung mehrerer Technologieebenen unter Berücksichtigung der Anforderungen an den Start-of-line und das Ende-of-line für jedes Modul. Das Gerät ist mit einer großen Messzone gebaut, die mehrere Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 3 Zoll aufnehmen kann. Die Maschine ist für gleichzeitige Messungen von bis zu 16 Wafern gleichzeitig ausgelegt, so dass der Benutzer Daten mit maximalem Durchsatz und Ausbeute sammeln kann. KLA 5105 Werkzeug ist mit fortschrittlichen Punkt Messtechnik ausgestattet, die hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit bietet. Es ist in der Lage, Linienbreite und -raum, Höhenunterschiede, Topographie und mehr mit einer hohen Genauigkeit zu erfassen. Die patentierten Scanrahmen des Asset sorgen für eine schnelle und genaue Messung. Das Modell verfügt über eine modulare Konfiguration, mit der der Benutzer die beste Konfiguration für seine Überwachungsanforderung auswählen kann. Der Anwender kann aus fortschrittlichen Funktionen wie manuellen und automatisierten Optionen für Waferbelastung und -entladung, automatisierten Ummessvorgängen und Expertenberatung zur Fehleranalyse wählen. Die TENCOR 5105-Ausrüstung wurde unter Berücksichtigung der Benutzersicherheit entwickelt. Es ist mit einem dreifach redundanten Sicherheitssystem zum Schutz vor unbeabsichtigtem Kontakt mit kritischen Teilen ausgestattet. Das Gerät entspricht auch allen lokalen und internationalen Sicherheitsvorschriften. Die Maschine verfügt über eine einfache, benutzerfreundliche Oberfläche mit intuitiven Menüs, so dass der Benutzer einfach durch die verfügbaren Funktionen navigieren kann. Es wird durch ein umfangreiches Service- und Supportnetzwerk der KLA unterstützt, das eine zuverlässige Leistung gewährleistet.
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