Gebraucht KLA / TENCOR AIT 1 #9022108 zu verkaufen

ID: 9022108
Inspection system.
KLA/TENCOR AIT 1 ist eine führende Wafer-Prüf- und Messtechnik für die Halbleiterindustrie. Es bietet eine breite Palette von optischen Inspektions- und Messtechnik-Lösungen für Silizium-Wafer, einschließlich fortgeschrittener Fehlerinspektion, Topographiemessung, Wafer-Ebene Materialcharakterisierung und Oberflächenmesstechnik Anwendungen. Mit einer Vielzahl von Automatisierungen ist das System in der Lage, Präzisionsmessungen schneller und genauer als je zuvor durchzuführen, wodurch der Anwender die Produktionseffizienz erhöht und die Rentabilität in den Halbleiterherstellungsprozessen maximiert wird. KLA AIT 1 ist mit mehreren optischen Komponenten ausgestattet, um eine Reihe von optischen Tests durchzuführen, einschließlich der Rasterelektronenmikroskopie (SEM), der optischen Lichtfeld-Bildgebung (OBFI), der spektralen Bildgebung (SI) und der optischen 3D-Messtechnik (3DM). Die hohe Definition seiner Mapping-Algorithmen ermöglicht die Erkennung extrem kleiner und subtiler Merkmale auf der Oberfläche des Wafers und ermöglicht eine äußerst präzise und genaue Fehlerinspektion. Es bietet auch die Möglichkeit, Messungen von Topographie und/oder Materialien in einem definierten rechteckigen oder kreisförmigen Bereich auf dem Wafer durchzuführen. Darüber hinaus verfügt die Software des Geräts über die Kapazität zur Analyse der Leistungsspektraldichte (PSD), die eine schnelle und genaue Analyse großer Datenbereiche ermöglicht und eine höhere Genauigkeit bei der Kalibrierung optischer Messungen sowie eine verbesserte Fehlererkennung ermöglicht. Die erweiterte Suite an Inspektions- und Messtechnik-Fähigkeiten von TENCOR AIT 1 macht es zu einer leistungsstarken und zuverlässigen Maschine für die Halbleiterindustrie. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Tests durchzuführen, darunter: 3D-Oberflächentopographie Charakterisierung, Wafer-Ebene Änderung Prüfung, Sterben-zu-sterben und Schicht-zu-Schicht-Schnittstelle Fehlermessung, zerstörungsfreie Prüfung, Dünnschicht-Messtechnik und 3D-Oberflächenprofilometrie. Darüber hinaus hat es die Fähigkeit, verschiedene Arten von Mustern und Defekten zu identifizieren und zu charakterisieren, einschließlich Partikelverunreinigungen und elektrochemischer Migration, sowie Oberflächenmaterialien genau zu erkennen und zu rekonstruieren. AIT 1 bietet Anwendern auch die Flexibilität, sich an ihre spezifischen Bedürfnisse und Anwendungen anzupassen, da es leicht in externe Systeme und Peripheriegeräte integriert werden kann, um seine Fähigkeiten weiter zu erhöhen. Es stehen auch mehrere Ausrichtungspakete zur Verfügung, mit denen das Werkzeug Produktionslosungen mit Nanometergenauigkeit über mehrere Wafer hinweg genau ausrichten kann. Darüber hinaus ist die Anlage für bewährte Leistung und Erträge im 24/7-Betrieb mit hohem Durchsatz für Anwendungen zur Herstellung von hochzuverlässigen Halbleitern konzipiert und verfügt über eine umfassende Serviceplattform, die den Anwendern eine schnelle Reaktion und einfache Wartung garantiert. Zusammenfassend ist KLA/TENCOR AIT 1 ein leistungsstarkes und zuverlässiges Modell, das für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde und eine fortschrittliche Fehlerinspektion, Topographiemessung und Materialcharakterisierung auf Waferebene bietet. Mit ihrer Fülle an Funktionen und Automatisierungen ist die Anlage in der Lage, maximale Produktionseffizienz und Rentabilität für Halbleiterherstellungsprozesse zu bieten.
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