Gebraucht KLA / TENCOR AIT 1 #9086398 zu verkaufen

KLA/TENCOR AIT 1 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur Erkennung von Defekten auf Halbleiterscheiben. Das System arbeitet während des Front-End-Herstellungsprozesses und bietet Ingenieuren eine schnelle, genaue und zuverlässige Fehlererkennung. Das Gerät besteht aus vier Komponenten: einer integrierten Messeinheit (IMU), einer Abtastwaferstufe, einem digitalen optischen Pfad und einem Fehlerinspektionswerkzeug. Die IMU besteht aus einer dreiachsigen Motorsteuerungsmaschine, die die Waferstufe zum Scannen exakt positionieren kann. Dies ermöglicht präzise Messungen der Fehlergrößen innerhalb von nur Millimetern. Die Abtastwaferstufe ist die Plattform, auf die der Wafer aufgesetzt wird, um gescannt zu werden. Es besteht aus einer robotergesteuerten, zweiachsigen Translationsstufe, die sich großflächig schnell bewegen kann. Die Abtaststufe weist zwei hochpräzise lineare Wandler auf, die die Waferstufe verfolgen und eine Karte der Oberfläche des Wafers erzeugen. Der digitale optische Pfad oder optische Kopf wird dann verwendet, um das von der Bühne erzeugte Licht zu sammeln, die Position und Größe jedes Fehlers zu analysieren und zu berechnen. Diese Daten werden dann zur Erkennung von Defekten verwendet. Schließlich ist das Fehlererkennungswerkzeug ein algorithmusbasiertes Werkzeug zur Analyse der gesammelten Daten und zur Identifizierung und Klassifizierung der Fehler zur weiteren Inspektion. Das KLA AIT 1 Tool ist darauf ausgelegt, die gesamte Waferoberfläche sofort zu analysieren und detaillierte Inspektionsinformationen zu jedem gefundenen Defekt bereitzustellen. Da das Asset automatisiert ist, kann es sowohl für manuelle als auch für automatisierte Inspektionen verwendet werden. Automatisierte Inspektionen sind äußerst nützlich für konsistente Ergebnisse, da sie nicht zu menschlichen Fehlern neigen. Das Modell ist auch in der Lage, mit anderen Systemen wie Simulation, Prozesssteuerung oder Lithographie zu interagieren, um genaue Informationen über Fehlergrößen, Formen und Orte bereitzustellen. Insgesamt ist die TENCOR AIT 1 Wafer-Prüf- und Messtechnik eine zuverlässige und benutzerfreundliche Lösung für die Halbleiterdefektdetektion. Das System liefert präzise, präzise und umfassende Ergebnisse, mit denen der Herstellungsprozess verbessert und die Erträge gesteigert werden können.