Gebraucht KLA / TENCOR P2 #293676473 zu verkaufen

ID: 293676473
Surface profiler Step height measurement system Standard head assembly.
KLA/TENCOR P2 ist eine modulare Wafer-Prüf- und Messtechnik, die speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Das System wurde entwickelt, um genaue und wiederholbare Messungen von variierenden Parametern auf Silizium-Wafern mit den neuesten Laser-Sensor- und Inspektionstechniken bereitzustellen. Die Einheit hat die Fähigkeit, mehrere Messungen an einzelnen Wafern berührungslos durchzuführen, unter Wahrung der Integrität des Wafers. Die Maschine hat zwei Hauptkomponenten - den Tastkopf und das Messtechnikmodul. Der Tastkopf besteht aus mehreren Sensoren, CCD-Kameras und Laserquellen, kombiniert mit proprietären Algorithmen zur Erkennung und Messung verschiedener Merkmale des Wafers, wie Dicke, Ebenheit, Größe, Form, Reflektivität und elektrische Eigenschaften. Die Messungen werden mit bis zu 1 Nanometer Auflösung durchgeführt und umfassen Messungen des Oberflächenprofils und der Verzerrung, die Kanten-an-Kanten-Gleichmäßigkeit des Wafers sowie etwaige Oberflächendefekte oder Verunreinigungen. Das Messtechnikmodul ist für die Verarbeitung und Verwaltung der vom Tastkopf gesammelten Daten und deren Ausgabe in verschiedenen Formaten verantwortlich. Das Modul verfügt über erweiterte Analysefunktionen wie hierarchische Filterung, statistische Analyse und multivariate Analyse. Es ist auch in der Lage, mehrere Benutzer unterzubringen und es ihnen zu ermöglichen, in Echtzeit auf die Daten zuzugreifen und mit ihnen zu interagieren. Das KLA P-2-Werkzeug ist für die Verwendung in einer Vielzahl von Forschungs- und Industrieanwendungen wie der Oberflächenmesstechnik, der topographischen Profilierung, der bildunterstützten Messtechnik und der Waferinspektion konzipiert. Es ist eine vielseitige, kostengünstige und zuverlässige Plattform zur Validierung und Charakterisierung von hochpräzisen Wafern sowie zur Prüfung und Herstellung von Qualitätswafern. Als solcher ist es ein unverzichtbarer Bestandteil des Halbleiterherstellungsprozesses.
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