Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #192508 zu verkaufen

KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan
ID: 192508
Patterned / Non-patterned darkfield defect inspection system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die speziell für die Qualitätskontrolle und Fehlererkennung in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es verwendet mehrere Technologien, um die Topographie der Waferoberfläche zu messen, einschließlich optischer Interferometrie, Laserstreuung und Elektronenrückstreuung. KLA 6200 Surfscan hat eine Musterstufe, die den Wafer genau misst, positioniert und scannt, wie es für die Datenerfassung und -analyse erforderlich ist. Dies kann bei Bedarf mit einem automatisierten Wafer-Handler erfolgen. Die optische Interferometrie-Technologie von TENCOR 6200 Surfscan verwendet ein Interferenzmuster, das durch kohärentes Licht erzeugt wird, um eine 3D-topographische Karte der Oberfläche des Wafers zu erzeugen. Das System verwendet diese Daten dann, um eine Reihe von Flächenparametern wie Ebenheit, Schritthöhe, Hügel und Rauheit zu messen. Die Laser-Streumetrie-Technologie arbeitet basierend auf der Wechselwirkung zwischen Licht und einer Oberfläche. Gemessen wird anhand des Verhältnisses zwischen der Intensität des Streulichts und den rauen Oberflächeneigenschaften des Wafers. Die Electron Backscatter Diffraction (EBSD) wird verwendet, um die Mikrostruktur der Probe zu bestimmen, indem Elektronen vom Gitter des Materials gebeugt werden. PROMETRIX 6200 Surfscan ist in der Lage, eine Vielzahl von Wafermaterialien und -größen zu handhaben, darunter 300 mm und 200 mm Wafer. Das Gerät verfügt auch über eine Reihe von optionalen Funktionen, darunter einen einstellbaren Strahlscanner, zur Optimierung der optischen Interferometrieauflösung und Softwarepakete zur Analyse und Erzeugung von Waferberichten. Die Maschine hat auch eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie Kollisionsdetektion, einen einstellbaren Sicherheitszaun zum Schutz der Probe und einen Laserverschluss zur Überwachung der Lichtpegel. 6200 Surfscan ist ein leistungsstarkes Werkzeug zur Qualitätskontrolle und Fehlererkennung für führende Kantenhalbleiteranwendungen. Es bietet schnelle, genaue und zuverlässige Ergebnisse und hilft Herstellern, Produkte von höchster Qualität zu gewährleisten.
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