Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9078054 zu verkaufen

KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan
ID: 9078054
Weinlese: 1993
Bare surface inspection system, 1993 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan ist ein Hochleistungs-Wafer-Prüf- und Messtechnik-System, das den anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Der Surfscan 6200 kann alle kritischen Parameter von Wafern genau messen, einschließlich Flächenebenheit, kritische Bemaßungen, Überlagerung und KE-Größe. Herzstück des Systems ist der preisgekrönte proprietäre OpticsairTM Sensor, der eine überlegene Empfindlichkeit und schnelle Dynamik gegenüber den anderen vergleichbaren Systemen auf dem Markt bietet. Es verfügt über eine einzigartige optische Hohlstab-Konstruktion, die Vibrationen reduziert und die Probenahmegenauigkeit verbessert, indem der Rauschboden deutlich reduziert wird. Der OpticsairTM-Sensor kann jede Form von Oberflächenfehlern messen und die Größe und Form von Merkmalen charakterisieren. Der 6200 verfügt über eine Vielzahl von leistungssteigernden Optionen, darunter einen Imaging & Measurement Processor (IMP) mit erweiterten Mapping- und Serienmusterfunktionen, einen hochmodernen Accu-Centric-Messkopf für präzise CD-Messungen und ein automatisiertes Wafer-Tracking-Modul mit vollständiger serieller Positionskontrolle. Der 6200 bietet Anwendern zudem die Möglichkeit, bis zu vier unabhängige Waferstufen zu integrieren, was eine hohe Flexibilität bei der Messung verschiedener Wafergrößen ermöglicht. Der Surfscan 6200 kann auch mit anderen Geräten wie SPC-Systemen und automatisierten Handlern zur systematischen Fehlererkennung, Analyse und Reparatur verknüpft werden. Neben den Standard-Wafer-Testfunktionen bietet die 6200 auch ein erweitertes Performance Targeting für die Prozesssteuerung, ein APC-Modul (Automated Processing Control) für eine verbesserte Leistungsüberwachung und kann in Messtechnik und Analysetools integriert werden. Zusammenfassend ist KLA 6200 Surfscan ein fortschrittliches Wafertest- und Messtechniksystem, das unübertroffene Geschwindigkeit, Genauigkeit und Flexibilität bietet. Es ist ideal für Halbleiterhersteller, die die Time-to-Market reduzieren, die Prozesskonsistenz verbessern und die Waferkosten senken möchten.
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