Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9078060 zu verkaufen

KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan
ID: 9078060
Weinlese: 1992
Bare surface inspection system, 1992 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan ist eine fortschrittliche Wafertest- und Messtechnikausrüstung, die zur Analyse von Halbleiterbauelementen verwendet wird. KLA 6200 Surfscan wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Parametern an komplexen Strukturen im Nanometermaßstab wie Oberflächengüte, Dicke, Ebenheit und Dotierstoffkonzentrationen zu messen. Dieses System ist in der Lage, mehrdimensionale Messtechnik wie Topographie, Profil und Neigungsuntersuchungen durchzuführen. TENCOR 6200 Surfscan ist mit einem vollautomatischen, hochauflösenden XY-Scanner ausgestattet. Dies ermöglicht präzise und genaue Messungen auch bei Verzerrungen von Strukturen wie Eckwürfeln und Teststrukturen mit extremen topographischen Merkmalen. Die Scanbreite und -geschwindigkeit sind einstellbar, um jede Messaufgabe von Vollfeldmessungen bis zum lokalisierten Scannen zu ermöglichen. Die Probe kann für einfache Aufbauten direkt auf der Scannerbühne platziert oder für komplexere Messungen auf einem Futter montiert werden. Die Einheit kann Substrate bis zu 200mm aufnehmen. Diese Maschine ist auch mit einer 2-Achsen-Neigungs- und Drehstufe ausgestattet, um Winkel und Neigungswerte im Nanometerbereich bei gleichzeitiger Einstellung der Probenorientierung genau zu messen. Ein CCD-Bildsensor mit benutzerdefinierbarer Auflösung ermöglicht eine kontrastreiche Abbildung von Strukturen auf der Waferoberfläche, die zur Bestimmung von Aktivierungsschwellen, Geometrie und anderen Parametern verwendet werden kann. 6200 Surfscan bietet auch erweiterte Analysefunktionen. Mit seinen hochauflösenden Bildgebungs- und Messtechnikmessungen kann das Werkzeug zur Erkennung von Prozessverschiebungen, zur Messung der Wiederholbarkeit, zur Identifizierung von Fehlern und zur Analyse einheitlicher Ausbeute eingesetzt werden. PROMETRIX 6200 Surfscan ist Windows-basiert und kann in Produktions-, Test- und Softwareumgebungen integriert werden, um den Durchsatz und die Zuverlässigkeit zu erhöhen. KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan wafer testing and metrology asset bietet hochwertige, automatisierte Wafermessungen für fortschrittliche Produktionsumgebungen. Es verfügt über hohe Genauigkeit Scannen und Bildgebung, zusammen mit erweiterten Analysefunktionen, für präzise Messungen und verbesserte Ertragskontrolle. Die Flexibilität und Präzision dieses Modells ermöglicht ein schnelles und genaues Feedback zu Prozessparametern und durch die Automatisierung traditionell manueller Aufgaben.
Es liegen noch keine Bewertungen vor