Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9249954 zu verkaufen

KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan
ID: 9249954
Wafer particle inspection system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die eine hochauflösende Bildgebung und automatisierte Messung der physikalischen und geometrischen Eigenschaften von Halbleiterscheiben ermöglicht. Das System nutzt fortschrittliche optische und bildgebende Technologie, um exakt gemessene topographische Bilder der Waferoberflächen zu erhalten. Es ist in der Lage, sowohl Nano- als auch Mikroskalenmerkmale zu messen, und seine umfangreichen Messfähigkeiten werden bei der Herstellung von Wafern verwendet, um Prozess- und Oberflächenprobleme zu ermitteln, die sich auf den Ertrag auswirken. Die Surfscan-Einheit KLA 6200 verfügt über automatisches Be- und Entladen von Proben, eine mehrstufige Korrektur für verbesserte Bildklarheit und eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche. Es bietet auch Weitfeldbildgebung über einen großen Bereich, quantifizierbare Messungen, Gerät-zu-Gerät-Gleichmäßigkeit und Datenverfolgbarkeit. TENCOR 6200 Surfscan wurde entwickelt, um mit Geräten so klein wie 100nm Pitch Nanostrukturen zu arbeiten und verfügt über eine optimierte optische Messmaschine, die bis zu 1000 Mikron breite Felder messen kann. Seine dynamische Oberflächenbildgebung und Messungen liefern hochgenaue Ergebnisse, die von Forschern und Ingenieuren zur Vorhersage der Waferleistung und zur Ermittlung von Prozessproblemen verwendet werden können. Die Maschine verfügt auch über eine messtechnische Werkbank, um schnelle, wiederholbare und statistisch aussagekräftige Messungen zu ermöglichen. Diese messtechnische Werkbank umfasst eine Reihe von anwenderwählbaren Messfunktionen wie kritische Bemaßung (CD), Linienkantenrauheit (LER), Lokale Kantenrauheit (LER), 360-Grad-Beleuchtung für Kantenscans und Profilmessungen. Das Tool PROMETRIX 6200 Surfscan bietet zudem eine automatisierte Inspektion, die es ermöglicht, Prozessprobleme und Inkonsistenzen schnell zu erkennen. Automatisierte Inspektion wendet eine Reihe von Algorithmen an, um Oberflächenfehler wie Mikroporen, Blasen und Streifen zu erkennen. Es bietet auch eine erweiterte Fehler-Review-Suite, mit der Benutzer Fehler vor Ort visualisieren können. 6200 Surfscan Asset ist ein zuverlässiges und vielseitiges Maschinenstück, das eine breite Palette von Funktionen zur Verbesserung der Wafertest- und Messtechnik bietet. Seine automatisierte Wafer-Handhabung, hochauflösende Bildgebung und umfassende Messfunktionen ermöglichen eine verbesserte Überwachung von Wafer-Fertigungsprozessen, die zur Verbesserung des Ertrags und zur Erhöhung des Produktionsdurchsatzes beitragen.
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