Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I #9277680 zu verkaufen

ID: 9277680
Wafergröße: 6"
Inspection system, 6".
KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I ist eine führende Wafer-Prüf- und Messtechnik, die modernste Anwendungs- und Messwerkzeuge bietet, um die Zeit und Kosten von Test- und Messprozessen zu reduzieren und gleichzeitig die Qualität der Ergebnisse zu verbessern. Das System umfasst hochentwickelte Algorithmen zur Analyse von Wafern unterschiedlicher Dicke und Form auf Defekte und Ungleichmäßigkeit. Das Gerät unterstützt eine Vielzahl von Wafer-Messtechnik-Anwendungen für verschiedene Segmente der Halbleiterindustrie, wie Wafer-Level-Engineering, Prozessentwicklung, Post-Process-Engineering, Ausbeute-Optimierung und Gerätecharakterisierung. KLA AIT I Maschine unterstützt eine Vielzahl von traditionellen Wafer Messtechniken, wie Fokus-Variation, Schritthöhenanalyse und Rasterelektronen und Atomkraft Mikroskopien. Es unterstützt auch erweiterte Fehlererkennung und Analyse, einschließlich Critical Dimension (CD) Ätztiefe, CD-Linienbreite, über Tiefe, Kantenbeugung und CD-Übertragung. Das Werkzeug besteht aus drei Teilen: einem Testkopf, einer Messtechnik und einem Messwerkzeug. Der Prüfkopf ist ein motorisierter Waferhalter, der für die Aufnahme mehrerer Wafer ausgelegt ist und eine präzise Ausrichtung bei der Messung verschiedener Geräte ermöglicht. Das Metrologiemodell umfasst eine Reihe von Software-Tools zur Analyse, Überwachung und Optimierung von Prozessabläufen. Das Messwerkzeug ist eine fortschrittliche CMOS-Kamera, die hochauflösende Bilder des Wafers aufnimmt und eine genaue und detaillierte Fehlererkennung und -analyse ermöglicht. TENCOR AIT I-Geräte beinhalten ausgefeilte Bildanalyse-Algorithmen, die es ermöglichen, selbst kleinste Fehler und Gleichmäßigkeitsprobleme auf mehreren Wafern zu erkennen und zu analysieren. Darüber hinaus bietet das System eine schnelle Ausrichtung und Messung von Prozessvarianten auf Waferebene und ermöglicht schnelle und genaue Entscheidungen über Produktqualität und Prozessoptimierung. Insgesamt ist AIT I eine umfassende Wafer-Test- und Messtechnik-Einheit, die dazu beitragen soll, Kosten zu minimieren und die Effizienz zu steigern. Durch die Kombination fortschrittlicher automatisierter Werkzeuge mit Hochleistungs-Bildgebung und Bildanalyse ermöglicht PROMETRIX AIT I-Maschine Waferherstellern die genaue und schnelle Erkennung von Fehlern und Gleichmäßigkeitsproblemen. Dies hilft ihnen, ihre Prozesse schnell für maximale Leistung und höchste Qualität zu optimieren.
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