Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-55C #9362896 zu verkaufen

KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-55C
ID: 9362896
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-55C ist eine umfassende Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für hohe Produktivität und hervorragende Qualitätsmessungen ausgelegt ist. Es verfügt über eine umfassende Reihe von Prozesscharakterisierungsfähigkeiten, wie Widerstand, Schichtdicke und Dotierungsmessungen, um die elektrischen und optischen Eigenschaften von Wafern zu charakterisieren. Das System wird durch zwei Scan- und Messtechnik-Stufen angetrieben - eine vollautomatische, halbautomatisierte und manuelle Messstation, die eine breite Palette von Wafergrößen mit einem Bereich von 200mm bis 300mm bietet. Es verfügt auch über eine hohe Genauigkeit optische Messeinheit, mit Sub-Mikron-Auflösung für erweiterte Wafer Oberflächencharakterisierung. Das RS-55C ist mit einem integrierten Niedervakuum- und Mehrgasschalter für Messtechnik und chemische Dampfabscheidung ausgestattet. Es bietet auch eine integrierte Kalibrierroutine und kommt mit einem Standard-Satz von Drittanbieter-Messoptik. Dies gewährleistet genaue und wiederholbare Messergebnisse und trägt dazu bei, dass alle Messgrößen strengen messtechnischen Standards entsprechen. Darüber hinaus bietet die Maschine auch eine fortschrittliche photoakustische Detektion zur Messung der Position von Mikromerkmalen und Strukturen auf der Oberfläche des Wafers für eine hochpräzise Verarbeitung. Es bietet auch Integration mit Software wie LabVIEW, und eine intuitive grafische Benutzeroberfläche für einfache Steuerung und Überwachung. Dies hilft bei der Optimierung von Messtechnik und Messungen und sorgt für präzise, wiederholbare Ergebnisse. Insgesamt bietet die KLA Omnimap RS-55C eine Reihe von fortschrittlichen Funktionen, die für exzellente und zuverlässige Wafertests und Messtechnik entwickelt wurden. Seine hohe Genauigkeit optische Plattform und modernste Software machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für hochpräzise Messung von Waferattributen.
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