Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX Quantox #9193136 zu verkaufen
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ID: 9193136
Wafer measurement system
Chuck: 8"
Open cassette with BROOKS PRI single end effector robot handler
Dual open cassette
Measurement head: LD / CO
Oven
Signal tower
UPS: No
Hardware configuration:
Load port: (2) Open cassette stations
Quickmap head
PDU
FG1 / FG2
Facilities:
Input power: 200 VAC +/-5%, 50/60 Hz
Input vacuum: 610 mm Hg
Input CDA: 75-100 PSI
Input N2: 75-100 PSI
Exhaust: 2000-4000 L/min
Currently crated.
KLA/TENCOR/PROMETRIX Quantox ist eine vollständig integrierte Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für den Einsatz in Produktions- und F & E-Umgebungen entwickelt wurde. Komplett mit einer Vielzahl von leistungsstarken Instrumenten bietet KLA Quantox umfassende Wafer-Messtechnik und Testfunktionen. Das System besteht aus einem Substrathalter, einem Messtechnikwerkzeug, einer Waferinspektionseinheit und einer Computersteuerungsmaschine. Der Substrathalter ist die Basis des Werkzeugs, wo polierte Wafer zur Weiterverarbeitung platziert werden. Es handelt sich in der Regel um einen automatisierten oder manuellen Lader, der ein schnelles und genaues Laden des Wafers in die Maschine ermöglicht. Das Messtechnik-Tool von TENCOR Quantox ist eine voll ausgestattete, mikrooptische Messtechnik. Es verwendet ein automatisiertes Fokus- und Vergrößerungsregelungsmodell, um bis zu vier Wafer gleichzeitig zu messen. Seine leistungsstarke Laseroptik misst die Eigenschaften auf dem Wafer, während seine Multisegmentoptik eine automatisierte Passform und Oberfläche bietet, um genaue Messungen zu gewährleisten. Die Wafer-Inspektionsausrüstung ist auch ein leistungsfähiges Werkzeug. Es verwendet ein einzigartiges optisches System, um das Vorhandensein von Partikeln oder anderen Fremdkörpern auf der Waferoberfläche zu erkennen. Es ist auch mit einer Vielzahl anderer Detektionstechnologien wie Röntgenstrahlen, Elektronenstrahlen oder Fluoreszenzmikroskopie ausgestattet, um eine detaillierte Analyse von Waferoberflächen zu ermöglichen. Die Computersteuereinheit von Quantox wurde entwickelt, um eine robuste und umfangreiche Steuerungsumgebung für maximale Flexibilität und Benutzerfreundlichkeit zu bieten. Die intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI) verfügt über eine umfassende Palette von Steuerungsoptionen wie Prozessmapping, Rezept-Datenmanagement, Datenanalyse und andere spezialisierte Steuerungsfunktionen. PROMETRIX Quantox ist eine extrem leistungsstarke und vielseitige Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine. Seine Eigenschaften und Leistung machen es die perfekte Wahl für jede Produktion oder Forschungsumgebung. Es bietet umfassende Wafer-Oberflächentests und Analysefunktionen, wodurch die Produktionskosten niedrig gehalten werden und konsistente Wafer-Ertragsergebnisse gewährleistet werden.
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