Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293633733 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius ist eine Nassstation, die für den Einsatz in Herstellungsverfahren von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es ist eine ideale Kombination aus Nassverarbeitungs- und Lithographiewerkzeugen, die zu einem höchsten Prozessdurchsatz, verbesserten Erträgen und Zuverlässigkeit und höchsten Qualitätsergebnissen führen. Die Station besteht aus einem Spin-Prozessor, einem komplexen Ionenimplantator und einem Dampfabgabesystem. Der Spin-Prozessor ermöglicht bis zu 20 Stationen automatisiertes Spin-Coating für eine gleichmäßige Schichtabscheidung. Der Ionenimplantator legt Ionen mit hoher Energie ab, um die Ladung in jedem fokussierten Strahl zu steuern. Das Dampfabgabesystem ermöglicht einen höheren Gasstrom, der bei der effizienten Durchführung von CVD-, PVD- und Ätzanwendungen wichtig ist. TEL Expedius bietet auch Spitzentechnologie bei der Schaffung optimaler Mikroumgebungen innerhalb der Station. Eine Vakuumkammer mit integrierter computergesteuerter aktiver Kühlung verhindert Verunreinigungen durch Luftfeuchtigkeit. Ein Ozon-Zerstörungssystem und eine chemische Falle verhindern, dass Ozon an Werkstücke gelangt. Eine Prozesskammer mit programmierbarer Temperatur- und Feuchtigkeitskontrolle hält die konsistentesten chemischen Umgebungen aufrecht, in denen nasse Prozesse erfolgreich durchgeführt werden können. Die Station verfügt auch über erweiterte Fehlererkennung und automatische Abschaltfunktionen für mehr Sicherheit. Die Fehlererkennung ist besonders hilfreich bei der Erkennung von Verschiebungen von Prozessparametern und beseitigt Prozessfehler, die sich aus solchen Verschiebungen ergeben. Die automatische Abschaltung reduziert die Zeit für die Reinigung von Verschütteten oder anderen Unfällen. TOKYO ELECTRON Expedius ermöglicht es seinen Benutzern, die Station an ihre eigenen Bedürfnisse anzupassen. Seine modulare Beschaffenheit ermöglicht das Hinzufügen oder Entfernen bestimmter Komponenten, so dass Benutzer ihre Prozessparameter genau anpassen können. Die Station kann auch mit anderen halbautomatischen oder automatisierten Systemen wie Lastports integriert werden, um den Transfer und die Überwachung von Wafern, Gleisen oder anderen Substraten zu erleichtern. Insgesamt erhöht Expedius die Effizienz und steigert die Erträge durch Vereinfachung und Automatisierung mühsamer Nassprozesse. Es ermöglicht seinen Benutzern, die Station an ihre eigenen Bedürfnisse anzupassen und integriert sich mit anderen Systemen für einen erhöhten Workflow. Darüber hinaus stellen fortschrittliche Sicherheitsfunktionen sicher, dass Prozesse überwacht und störungsfrei sind, was eine ununterbrochene Produktion ermöglicht.