Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293666975 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius ist eine Nassstation für den Einsatz in Halbleiterverarbeitungsanwendungen. Es ist eine einzigartige, fortschrittliche Ausrüstung für die Einzelwaferbearbeitung und ist in der Lage, sowohl chargenweise als auch kontinuierliche Prozesse zu handhaben. Das System ist für die Bearbeitung von Wafern von bis zu sechs Zoll ausgelegt und ist sowohl mit 300 als auch mit 200 mm Wafern kompatibel. Die Nassstation TEL Expedius besteht aus zwei unabhängigen, temperaturgeregelten Nassbädern, mit denen eine Reihe von Bearbeitungsschritten durch Wafertransfer zwischen den Bädern durchgeführt werden. Die Bäder sind automatisiert und können programmiert werden, um eine Reihe von Verarbeitungsschritten auf der Grundlage der Anforderungen des Benutzers durchzuführen. Die Bäder können auf bis zu 200 ° C erwärmt werden und beide sind mit Temperaturmeßsystemen ausgestattet, um eine gleichbleibende Temperatur während des gesamten Prozesses zu gewährleisten. Neben den Nassbädern umfasst die Nassstation auch eine eingebaute chemische Handhabungseinheit, die sowohl für die chemische Lagerung als auch für die Abgabe zuständig ist. Dies hilft, Materialkosten zu senken und die Produktivität zu verbessern. Die Station ist auch in der Lage, sowohl gefährliche als auch ungefährliche Chemikalien zu handhaben, so dass sie für eine Vielzahl von Prozessanwendungen geeignet ist. TOKYO ELECTRON Expedius wurde entwickelt, um den Waferbearbeitungsprozess zu automatisieren und eine beeindruckende Qualitätskontrolle zu gewährleisten. Eine auf der Nassstation montierte hochauflösende Kamera liefert Echtzeitbilder der zu bearbeitenden Wafer. Diese Maschine ist in der Lage, alle während des Prozesses auftretenden Anomalien zu erkennen und den Benutzer darauf hinzuweisen sowie ein Mittel zur Überwachung der Wirksamkeit des Prozesses bereitzustellen. Es enthält auch wichtige Sicherheitsmerkmale, wie ein Verschüttungsschutzwerkzeug, das eine Kontamination der Umgebung oder der Prozesskammer verhindert. Die Anlage umfasst auch fortschrittliche Vakuumsysteme, um eine gleichbleibende Qualität während der Verarbeitung zu gewährleisten. Das Vakuummodell sorgt für Gleichmäßigkeit bei Ätzprozessen und kann je nach Prozessanforderungen unterschiedliche Vakuumstufen bereitstellen. Darüber hinaus tragen die eingebauten Lastverriegelungssysteme des Geräts dazu bei, Prozessausfälle durch Wafer-Platzierungsfehler zu minimieren. Schließlich ist Expedius wet Station mit Usability und Wartbarkeit im Auge entworfen. Seine Benutzeroberfläche ist sehr intuitiv und einfach zu bedienen, und sein modularer Aufbau ermöglicht eine einfache Wartung und Reparaturen bei Bedarf. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON Expedius eine fortschrittliche Nassstation, die für eine effektive und zuverlässige Waferbearbeitung in einer Vielzahl von Halbleiteranwendungen entwickelt wurde. Es bietet eine automatisierte und temperaturgesteuerte Umgebung für die Verarbeitung mit fortschrittlichen Bilderkennungs- und Vakuumsystemen zur verbesserten Kontrolle des Prozesses. Darüber hinaus machen seine Benutzeroberfläche und modulare Konstruktion es einfach zu bedienen und zu warten. Als solche ist TEL Expedius Nassstation eine gute Wahl für jede Halbleiterverarbeitungsanwendung.