Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9188258 zu verkaufen

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AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA
Verkauft
ID: 9188258
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1998
RTP System, 8" Mainframe type: Centura I Software version: C4.01a Load lock type: Wide body System umbilicals: 50' Chamber A & B: MOD1 ATM RTP Robot type: HEWLETT-PACKARD Currently warehoused 1998 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reaktor ist eine Mehrzweckausrüstung entwickelt, um fortschrittliche Materialien wie Silizium, Galliumarsenid und Titan zu verarbeiten. Es wird für verschiedene Arten der Halbleiterverarbeitung verwendet, einschließlich Rapid Thermal Processing (RTP), Chemical Vapor Deposition (CVD), Atomic Layer Deposition (ALD), Photoresist Stripping und thermische Oxidation. Dieses System ist in der Lage, unter verschiedenen Prozessbedingungen zu arbeiten und kann Substrate mit einem Durchmesser von 100 mm bis 300 mm unterstützen. Der AMAT CENTURA Reaktor besteht aus zwei getrennten Kammern: der Ladekammer und der Prozesskammer. Die Ladekammer dient zum schnellen Ein- und Ausladen von Substraten in und aus der Prozesskammer. Es wird auch verwendet, um die Prozesskammer vor Partikeln und Verunreinigungen zu schützen, mit einer Vakuumeinheit, die unerwünschte Materialien schnell abpumpen kann. Die Prozesskammer ist für die eigentliche Bearbeitung von Substraten mit einstellbarem Druck, Temperatur und anderen Prozessparametern bestimmt. APPLIED MATERIALS CENTURA Reaktor verfügt über eine proprietäre EFC (End-Point Fast Cycle) Funktion, die es der Maschine ermöglicht, Prozessendpunkte in Sekunden zu erreichen, anstatt die typischen Minuten. Diese Funktion spart Zeit und Geld und ermöglicht es den Betreibern, schnell verschiedene Prozessparameter für maximale Effizienz zu optimieren. Der Reaktor verwendet auch ozonfreie Heizelemente, die eine präzise Temperaturregelung und gleichmäßige Erwärmung der Kammer ermöglichen. Dadurch wird sichergestellt, dass alle Substrate exakt den gleichen Prozessbedingungen unterworfen werden, was zu einer gleichbleibenden, hochwertigen Halbleiterherstellung führt. Neben diesen Merkmalen verwendet der CENTURA-Reaktor auch ein patentiertes Mehrzonen-Kühlwerkzeug. Diese Funktion hilft, die Abkühlrate der Kammer zu optimieren, wodurch sich die Kammer in Reaktion auf Änderungen der Prozessparameter schnell einstellen kann. Das Modell trägt auch dazu bei, das Risiko von Partikelverunreinigungen, Elektronikstörungen und anderen potenziellen Problemen zu reduzieren. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reaktor ist eines der zuverlässigsten und fortschrittlichsten Produktionswerkzeuge in der Halbleiterindustrie. Es ist ideal für Forschungseinrichtungen, Universitäten und industrielle Anwender, die präzise, sichere und wiederholbare Ergebnisse benötigen. Mit seinen modernsten Eigenschaften kann der Reaktor eine breite Palette von Materialien mit ausgezeichneter Effizienz und Zuverlässigkeit verarbeiten.
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