Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9134876 zu verkaufen

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ID: 9134876
Wafer edge exposure (WEE) system 2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz ist ein berührungsloses Belichtungsgerät für Photoresists. Es ist ein voll integriertes und automatisiertes System, das Belichtungs-, Ausrichtungs-, Datenerfassungs- und Wafer-Handhabungsprozesse kombiniert. Das Gerät bietet einen hohen Durchsatz und wurde entwickelt, um komplizierte und detaillierte Mikrostrukturen wie extreme ultraviolette (EUV) Photomasken für die Lithographie zu erzeugen. TEL MARK-VZ ist mit einer laserbasierten Projektionsmaschine ausgestattet. Es verwendet einen ultrahohen Dichte, hohe Bandbreite, Multi-Spot-Laser, um hohe Geschwindigkeit zu erreichen, präzise Belichtung. Das Projektionswerkzeug ermöglicht die Belichtung großer Waferdurchmesser mit hoher Auflösung und Gleichmäßigkeit. Darüber hinaus verfügt es über einen einzigartigen, hochpräzisen variablen Punktgrößenmodus, mit dem die Größe des Laserstrahlflecks während der Projektion variiert werden kann, um die Leistung zu optimieren. Diese Anlage unterstützt eine Vielzahl von Photomasken, einschließlich undurchsichtiger, transmissiver und diffraktiver Masken, und kann eine breite Palette von Strukturen erzeugen, von kleinen bis zu großen Mustern. Das Modell ist auch mit einer Waferbühne zur Positionierung und Orientierung ausgestattet. Die Wafer-Stufe verwendet eine zweiachsige, hochpräzise Ausricht- und Drehausrüstung für Waferbelastung, Ausrichtung und Belichtung. Das System ist in der Lage, den Waferrand abzutasten und den Wafer vor der Belichtung vorzujustieren. Die Präzision der Einheit und die hohe Drehzahl sorgen für eine präzise und genaue Belichtung. Die laserbasierte, berührungslose Belichtung von TOKYO ELECTRON MARK V-Z maximiert den Durchsatz der Maschine und das integrierte Wafer Handler und Scanning Tool hilft, Waferschäden und Kontaminationen zu reduzieren. Darüber hinaus verfügt das Asset über ein integriertes Datenprotokollmodell, das den Belichtungsverlauf für jeden Wafer verfolgt. Diese Daten können zur Qualitätskontrolle und Qualitätssicherung verwendet werden. TEL MARK Vz ist eine ausgezeichnete Wahl, wenn eine zuverlässige, hochpräzise Belichtungsanlage für Fotoresists benötigt wird. Es ist in der Lage, komplizierte, sehr detaillierte Mikrostrukturen mit minimaler Verzerrung zu erzeugen. Darüber hinaus ist es einstellbar, läuft effizient und liefert konsistente Ergebnisse. TEL MARK V-Z ist für die industrielle Produktion von Photomasken konzipiert und erfüllt die Anforderungen der anspruchsvollsten Anwendungen.
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