Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS / HCT E500SD-B/5 #9193773 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9193773
Weinlese: 2011
Wire saw
Water input:
Input pressure: >2.5 bar
Input temperature: <9°C
Cooling unit power: 150 kW
Incoming water flow (without cooling compressor): 18.5 m³/h
Machine:
Wire speed / Acceleration: 18*/5 m/s / m/s²
Wire guides length: 520 mm
Wire guides diameter: 300 mm
Horizontal working space: 360 mm
(4) Wire guides
Wire guides drives power: 2x61 kW
(2) Tables:
Travel (depends on clamping): 290 mm
Cutting speed: 0-9000 um/min
Fast table speed: 0-500 mm/min
Hydraulic passive clamping system
Wire:
(8) Pulleys
Wire tension: 0-30N
Wire length: 640 km
Wire web width: 500mm
Slurry:
Tank capacity: 550 lit
Pumping capacity: 2x160-200 * (1,6 kg/dm3) kg/min
Pump power: 3x7.5 kW
Pumping speed adjustment: 0-100%
(3) Pumps
(6) Manifolds in slicing room
Frame & others:
Stainless steel
Sliding doors
Color of frame and panels: RAL 5011
Utilities:
Air pressure: 4 to 6 bar
Air flow (dry): Min 25 m3/h
Air exhaust (pipe ø150 mm): 3x100 m3/h
Cooling unit power: 150 kW
Incoming water pressure: Min 2.5 bar
Incoming water temperature (with cooling compressor): 20 (30 RFNS) °C max 20
Incoming water temperature (without cooling compressor): 9 °C Max
Incoming water flow (with cooling compressor): 10.3 m3/h
Incoming water flow (without cooling compressor): 18.5 m3/h
B5 Base with retrofit hardware
Diamond wire technology
Machine can run with 120 or 100 µm wire
Electrical hooking 50 / 60 Hz: 3x400 / 480
Average power (with cooling compressor): 208 kVA
Maximum power (with cooling compressor): 339 kVA
Average power (without cooling compressor): 156 kVA
Maximum power (without cooling compressor): 287 kVA
Grid failure safety option
2011 vintage.
HCT E500SD-B/5 Crystal Growing, Sawing & Slicing Equipment ist ein Präzisionswerkzeug zum Wachstum, Schneiden und Läppen von nichtoxidischen kristallinen Materialien wie GaAs, InP und verwandten Verbundhalbleitermaterialien für die Halbleiterindustrie. Dieses System ist mit einer erweiterten Umweltkammer und einem linearen und exzentrischen Antrieb für präzisen und sicheren Betrieb ausgestattet. Das Gerät wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Materialien so dünn wie 0,5 μ m zu wachsen, Säge, Schnitt und Schoß. Die Maschine verfügt über eine 600-mm-X-Y-PZT-Bühne, ein integriertes Messersteuerungswerkzeug und eine Hochleistungs-Ansichtskamera der neuen Generation. Die E500SD-B/5 nutzen den Prozess der automatisierten Wachstumskontrolle (AGC), der die Gleichmäßigkeit und Sicherheit des Schneidens und Läppens selbst anspruchsvollster Materialien verbessern soll. Das Sägeblatt wird durch eine fortschrittliche Guard-Asset-Technologie gesteuert und in Z-Richtung gesteuert, so dass der Schneideeffekt perfekt auf die Oberfläche des Kristalls ausgerichtet ist, um perfekte Scheiben mit minimalen Oberflächenschäden zu erhalten. Mit dem Modell können ein- und mehrachsige Scans manuell oder über die Modular Controller-Plattform durchgeführt werden, die einen hochintegrierten Mikroprozessor enthält und schnellere Betriebsgeschwindigkeiten ermöglicht. Die modulare Controller-Plattform integriert sich in den Advanced Vacuum Controller, der die Bearbeitungskammer während des Wachstums und des Schneidvorgangs überwacht und steuert, um eine überlegene Leistung zu erzielen. Das Gerät enthält auch einen qualitativ hochwertigen Ultra-Low-Vibrationsmotor, der Vibrationen eliminiert und die Komplexität des Läppprozesses reduziert. Die fortschrittliche optische Einheit des Systems umfasst eine ultrahochauflösende Digitalkamera und ein Mikroskop, die eine einfache und genaue Ausrichtung der Proben während des gesamten Prozesses ermöglicht. Die Steuerungssoftware der Maschine bietet robuste Datenberichts- und Prozessüberwachungswerkzeuge und führt gleichzeitig mehrere Prozessparameter aus, um den Prozessdurchsatz zu maximieren. Dies in Kombination mit dem integrierten Kühl- und Heizelement des Werkzeugs macht es sowohl für die Ein- als auch für die Mehrkristallproduktion geeignet. Insgesamt ist AMAT E500SD-B/5 ein All-in-One-Kristall-Anbau-, Säge- und Schneidemodell, das für hohe Präzision und fortschrittliche Leistung entwickelt wurde. Diese Ausrüstung ist für das Wachstum, Schneiden und Läppen von nichtoxidischen kristallinen Materialien optimiert und bietet Anwendern beispiellose Genauigkeit und Produktivität. Die fortschrittliche mikroprozessorbasierte Steuereinheit und die Vielzahl an Komponenten machen es zu einer großen Wahl für Halbleiterforschung und industrielle Anwendungen.
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