Gebraucht ASM A 412 #9137395 zu verkaufen

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ID: 9137395
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2011
Vertical LPCVD furnace, 12" P/N: 2E0082-06-01 CIM: E84, SECS/GEM, GEM300 Nitride furnace (2) Ports Protocol zone: FEOL SMIF Handler Chamber 2011 vintage.
ASM A 412 ist ein Diffusionsofen, der für industrielle Anwendungen wie die Halbleiterherstellung verwendet wird. Es handelt sich um einen Vertikalofen von 400 mm mit einem Mehrzonendesign für eine flexible Produktion und einen höheren Durchsatz. Der Ofen verfügt zudem über energiesparende Technologien und eine verbesserte thermische Homogenität. Der Temperaturbereich des Ofens liegt zwischen 250 ° C und 1250 ° C und die Heizelemente bestehen aus einer Hochtemperaturlegierung. Der Ofen ist auch mit Vollautomatisierung für Prozesswiederholbarkeit und zuverlässigen Betrieb ausgestattet. Die Hauptteile von ASM A412 sind die Bettplatte, die Ein- und Ausgangssysteme, der Körper, der Deckel und die Netzteile für die Heizelemente. Die Bettplatte ist die Basis des Ofens und besteht aus hochwertiger Aluminiumlegierung für maximale Haltbarkeit. Die Ein- und Auslaßsysteme sind für eine maximale Gleichmäßigkeit der Erwärmung des Substrats ausgelegt. Der Ofenkörper ist doppelwandig mit einer Wärmedämmung aus Keramikfasern und einer Außenplatte aus Edelstahl. Der Deckel ist aus Edelstahl gefertigt und verfügt über ein dicht abgedichtetes Gehäuse mit zwei Sichtanschlüssen und einem verstärkten Hebegriff. Das Heizelement für A 412 besteht aus pulverbeschichteten Siliziumkarbidstäben. Die Elemente verwenden ein Niederspannungs-Gleichspannungsnetzteil, das für eine präzise Steuerung einstellbar und stabil ist. Die Netzteile sind durch eine eingebaute Sicherheitsregelung vor Spannungs- und Stromstößen geschützt und können ferngesteuert werden. A412 kommt mit verschiedenen Zubehör, um den Prozess zu automatisieren. Das Zubehör umfasst einen integrierten Massendurchflussregler zur Steuerung von Inertgasen, ein Zeitgeberrelais zur Steuerung der Wechselstromleistung zu den Heizelementen und ein Pyrometer zur Überwachung der Prozesstemperatur. Der Ofen verfügt außerdem über einen programmierbaren Logikregler (SPS), mit dem Prozessparameter automatisiert, die Wasserstoffkonzentration berechnet, der Druck überwacht und die Blei-/Zinn-Badtemperatur gesteuert werden kann. ASM A 412 ist ein sehr zuverlässiger und effizienter Diffusionsofen, der sich für eine Vielzahl von Anwendungen und industriellen Prozessen eignet. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen, benutzerfreundlichem Design und Qualitätskomponenten bietet ASM A412 genaue und wiederholbare Ergebnisse in der Produktion.
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