Gebraucht ASM A 412 #9176794 zu verkaufen

ASM A 412 ist ein Diffusionsofen und Zubehör für Hochleistungs-Wafer-Level-Materialien. Sie eignet sich insbesondere für Anwendungen, die eine schnelle Abscheidung von Dünnschichten wie Hochtemperatursupraleitern, MEMS-Bauelementen, MEMS-Sensoren und Dünnschichttransistoren erfordern. Das Gerät hat eine maximale Temperatur von 1350 ° C und ermöglicht eine Hochtemperaturverarbeitung. Es ist einfach zu konfigurieren, mit einer Vielzahl von Optionen für Ofenhauben, Quellmaterialien und Ampullen. ASM A412 Ofen ist auf einem Ständer montiert, der einen tragbaren Rollwagen oder eine kompakte Wandhalterung enthält. Es verfügt über eine Vielzahl von automatisierten Sicherheitsfunktionen, einschließlich einer Alarmanlage und automatisiertem Stopp, wenn die Ofentemperatur aus der Reichweite fällt. Der Ofen ist durch eine Edelstahlhaube geschützt, die eine präzise Steuerung der Atmosphäre ermöglicht und Gasaustritt verhindert. Das Gerät kann programmiert werden, um den Atmosphärendruck mit bis zu sieben unabhängigen Sollwerten zu steuern, und die Maschine enthält auch eine Reihe von Diagnosefunktionen, um die Fehlerbehebung und Wartung zu erleichtern. Der Ofen kann mit mehreren Zubehörteilen angepasst werden. Dazu gehören Mehrsegment-Waferhalter, Ampullen und Ampullenhalter sowie Spezialmaterialien. Eine Siliziumcarbid-Muffel ermöglicht eine schnelle thermische Verarbeitung von Wafern mit einer einstellbaren Heizrate von bis zu 50 ° C/sec. Das Werkzeug beinhaltet einen diatomischen Atmosphäre-Injektor, der eine präzise Steuerung des Gasdurchsatzes ermöglicht. Dies ermöglicht eine schnelle Erwärmung und Kühlung der Wafer. Der Ofen umfasst auch eine Vielzahl von Zusatzgeräten, wie ein Thermoelement, elektronische Druckmessgeräte und eine Vakuumpumpe. Das integrierte Thermoelementmodell ermöglicht eine präzise Steuerung des Abgases und kann zur Überwachung der Temperatur des Ofens und der Wafer verwendet werden. Die Manometer ermöglichen eine präzise Steuerung des Atmosphärendrucks für verschiedene Bearbeitungsstufen und die Vakuumpumpe ermöglicht die Aufrechterhaltung eines Hochvakuums in der Kammer. Zusammenfassend sind Diffusionsofen und Zubehör des Typs A 412 für eine effiziente und sichere Abscheidung von Materialien auf Waferebene konzipiert. Das Gerät verfügt über eine breite Palette von automatisierten Sicherheitsmerkmalen, einstellbaren Atmosphärendruck und eine Reihe von Zusatzgeräten, um die thermische Verarbeitung von Wafern zu vereinfachen und zu optimieren.