Gebraucht ASM A 412 #9176796 zu verkaufen

ASM A 412 Diffusionsofen ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges Werkzeug für fortschrittliche Diffusionsbonding und epitaktische Wachstumstechnologie. Es eignet sich für verschiedene Anwendungen, einschließlich Halbleiterbauelementherstellung, MEMS (mikroelektromechanische Systeme) -Bauelemente, fortschrittliche Prozessgerätetechnologien und fortschrittliche Verpackung. ASM A412 Diffusionsofen ist mit einem horizontal angeordneten, Quad-Zone, stationären, vakuumgesteuerten vertikalen Ofen, einer 4-Zone, 3000 W Multikristall-Thermoplatte und einem Wafer-Stabilisierungsmechanismus ausgestattet. Der Wafer-Stabilisierungsmechanismus gewährleistet eine hohe Gleichmäßigkeit der Wafertemperatur, was einer der Hauptvorteile des Diffusionsofens ist. Der Temperaturbereich des Ofens liegt zwischen Raumtemperatur und 1200 ° C. Die Temperaturstabilität kann innerhalb von 0,1 ° C gehalten werden und die Temperaturgleichförmigkeit ist typischerweise besser als 0,5 ° C. Der Ofen kommt auch mit einer Vielzahl von Funktionen und Zubehör. Zum Beispiel verfügt es über eine Turbopumpe, um die Pumpgeschwindigkeit zu verbessern und die Zeit zu reduzieren, um Vakuum bis zu 1E-4 Torr vor dem Diffusionsprozess herzustellen, und die Gasöffnung und der Abgasanschluss, die eine genaue Regelung der Druck- und Gasströme während des Prozesses ermöglichen. Der Ofen hat auch einen einzigartigen gegenläufigen Mechanismus, um den Sputterätzeffekt zu reduzieren. Die Endplatte kann Probengrößen von bis zu 8 "Durchmesser aufnehmen. Darüber hinaus bietet der Ofen eine breite Palette von Anwendungen, indem er seine unteren Metallheizelemente und seine Fähigkeit zur Niedertemperatur-Epitaxiewachstum und -oxidation, spezifische Leitungsmusterabscheidung, Strahlenhärtung und schnelle thermische Glühung und lasergestützte Metallstrukturierung nutzt. Insgesamt ist ein Diffusionsofen 412 die ideale Wahl für fortschrittliche Diffusionsbonden und epitaktische Wachstumstechnologie. Seine leicht zu kontrollierende Temperatur und Gleichmäßigkeit, sein robustes und zuverlässiges Design und sein breites Spektrum an Funktionen und Zubehör machen es zur perfekten Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen.