Gebraucht ASM A 412 #9185404 zu verkaufen
Es sieht so aus, als ob dieser Artikel bereits verkauft wurde. Überprüfen Sie ähnliche Produkte unten oder kontaktieren Sie uns und unser erfahrenes Team wird es für Sie finden.
Verkauft
ID: 9185404
Wafergröße: 12"
Vertical furnaces, 12"
Dual reactors cure VDF: CU, PI
WIP Module:
Part number / Description
2945169-01 / Main frame WIP assembly
2379589-01 / Elevator chr
2947641-01 / Cassette stacker carousel
2944170-01 / Cassette transfer module
2947692-01 / Load port
2403641-01 / Pneumatic box
2947617-01 / WIP Flow box
Reactor module (Base model info):
Part number / Description
2330865-01 / Main reactor A412 frame assembly
2916177-01 / Reactor A412 top frame
2931303-01 / Reactor servo drive
2370387-01 / Reactor EMO / Motion
2931257-01 / BTC Box
2373718-01 / WTC Box
2909251-01 / R1 / R2 Controllers
2936550-01 / Reactor touchscreen
2327287-01 / Carousel bearing
2329999-01 / Carousel housing
2931222-01 / Carousel drive
2931109-01 / Reactor carousel
2379872-01 / Reactor fan
2936739-01 / A412 Gate valve
2997320-01 / Boat elevator A412
2972786-01 / Loader arm LP ROT
2936666-01 / O2 Analyzer reactor GEN
2366460-01 / N2 Purge generic
2330768-01 / TCU / TCF Generic
2330350-01 / VAC / PNEU Comp A412
Miscellaneous:
Part number / Description
2895587-01 / (2) End effectors 242 CER
2927772-01 / N2-Purge 200 SLM assembly
2927810-02 / Reactor O2 analyzer 120 VAC
2405067-01 / Door opener 2nd GEN IC
2888025-01 / Transponder
2356341-01 / Press sens WHR single
2356333-01 / Press sens RC car
Reactor chambers 1-2:
Part number / Description
2995905-01 / Reduced exhaust ATM kit
2842939-02 / Process tube ATM NQ thin kit
2897334-02 / Door plate ATM LT H2 SS
2845644-02 / Wafer carrier NQ ATM 300 mm
2805847-01 / Thermocouples ATM BC
2954664-01 / Mount block FLG'S
2869764-01 / FLGS Proc / Door ATM MK
2806096-01 / ATM Scavenger purge
2864282-02 / Outlet no QTZ ATM H2-cure kit
2894564-01 / Heat exchanger RC1 / RC2
2996235-01 / Klixon heater element
2953927-01 / Heat ELEM ATM FR LT
2836343-01 / ATM Exhaust RC1 / RC2 120 V
2301652-01 / ELEC FLG'S ATM A412
2866048-01 / Heater outlet ATM 24 V
2955644-01 / GASP H2 Cure RC 1/2
2907860-01 / Intermediate H2 Cure RC 1/2
2310953-02 / INC GASL RC 1/2 901300
2865262-01 / H2 Sensing RC1 / RC2
2332108-01 / Pump TCU
2862255-01 / O2-Analyzer ATM H2 cure RC 1/2.
ASM A 412 ist ein fortschrittliches thermisches Bearbeitungswerkzeug, das entwickelt wurde, um Diffusionssubstrate und zugehörige Komponenten gleichmäßig zu erhitzen. Es kann Substrate von bis zu sechs Zoll Durchmesser mit einem beeindruckenden thermischen Gradienten von ± 3 ° C verarbeiten. Die Wärme wird durch langlebige rohrförmige Heizelemente erzeugt, die über unabhängige Energiesteuerungssysteme betrieben werden. Das Gerät ist mit Wärmebehandlungsfunktionen wie vorbehandelter Heizung, gleichmäßigem Einweichen, kurvenfolgender Heizung und Kühlgeschwindigkeitsregelung ausgestattet. Diese Vorrichtung weist einen Vakuumbruch auf, wodurch der Ofen evakuiert werden kann, um Luft oder andere Gase von der Substratoberfläche zu entfernen, bevor die Diffusion erfolgt. Der Diffusionsvorgang erfolgt bei Erregung der Heizelemente, wodurch die Temperatur des Ofens auf einen gewünschten Sollwert angehoben wird. Das Substrat wird dann in die heiße Zone gelegt, um den Diffusionsprozess zu beschleunigen. Das Gerät verfügt über eine vertikale Beladungskonstruktion, die einen schnellen und einfachen Zugang zum Substrat sowie einen gleichmäßigen Temperaturgradienten im gesamten Ofen ermöglicht. Darüber hinaus verfügt es über ein in die Heizkammer integriertes Luftkühlsystem, das die Diffusionszeit deutlich reduziert. Darüber hinaus verfügt das Gerät über einen erweiterten Graphitheizer, der hilft, die erforderliche Temperaturgleichförmigkeit aufrechtzuerhalten. Um ein optimales Sicherheitsniveau zu gewährleisten, verfügt das Gerät auch über einen Notschalter. ASM A412 Diffusionsmaschine ist ein einfach zu bedienendes, zuverlässiges Werkzeug, das für eine Vielzahl von Diffusionsverfahren verwendet werden kann. Dank seiner Flexibilität ist es eine gute Wahl für diejenigen, die eine schnelle, zuverlässige und leistungsstarke thermische Verarbeitung benötigen. Seine Kombination von Funktionen sorgt für große Ergebnisse, so dass es eine gute Wahl für diejenigen in der Diffusionsverarbeitung Geschäft.
Es liegen noch keine Bewertungen vor