Gebraucht ASM A 412 #9185404 zu verkaufen

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ASM A 412
Verkauft
ID: 9185404
Wafergröße: 12"
Vertical furnaces, 12" Dual reactors cure VDF: CU, PI WIP Module: Part number / Description 2945169-01 / Main frame WIP assembly 2379589-01 / Elevator chr 2947641-01 / Cassette stacker carousel 2944170-01 / Cassette transfer module 2947692-01 / Load port 2403641-01 / Pneumatic box 2947617-01 / WIP Flow box Reactor module (Base model info): Part number / Description 2330865-01 / Main reactor A412 frame assembly 2916177-01 / Reactor A412 top frame 2931303-01 / Reactor servo drive 2370387-01 / Reactor EMO / Motion 2931257-01 / BTC Box 2373718-01 / WTC Box 2909251-01 / R1 / R2 Controllers 2936550-01 / Reactor touchscreen 2327287-01 / Carousel bearing 2329999-01 / Carousel housing 2931222-01 / Carousel drive 2931109-01 / Reactor carousel 2379872-01 / Reactor fan 2936739-01 / A412 Gate valve 2997320-01 / Boat elevator A412 2972786-01 / Loader arm LP ROT 2936666-01 / O2 Analyzer reactor GEN 2366460-01 / N2 Purge generic 2330768-01 / TCU / TCF Generic 2330350-01 / VAC / PNEU Comp A412 Miscellaneous: Part number / Description 2895587-01 / (2) End effectors 242 CER 2927772-01 / N2-Purge 200 SLM assembly 2927810-02 / Reactor O2 analyzer 120 VAC 2405067-01 / Door opener 2nd GEN IC 2888025-01 / Transponder 2356341-01 / Press sens WHR single 2356333-01 / Press sens RC car Reactor chambers 1-2: Part number / Description 2995905-01 / Reduced exhaust ATM kit 2842939-02 / Process tube ATM NQ thin kit 2897334-02 / Door plate ATM LT H2 SS 2845644-02 / Wafer carrier NQ ATM 300 mm 2805847-01 / Thermocouples ATM BC 2954664-01 / Mount block FLG'S 2869764-01 / FLGS Proc / Door ATM MK 2806096-01 / ATM Scavenger purge 2864282-02 / Outlet no QTZ ATM H2-cure kit 2894564-01 / Heat exchanger RC1 / RC2 2996235-01 / Klixon heater element 2953927-01 / Heat ELEM ATM FR LT 2836343-01 / ATM Exhaust RC1 / RC2 120 V 2301652-01 / ELEC FLG'S ATM A412 2866048-01 / Heater outlet ATM 24 V 2955644-01 / GASP H2 Cure RC 1/2 2907860-01 / Intermediate H2 Cure RC 1/2 2310953-02 / INC GASL RC 1/2 901300 2865262-01 / H2 Sensing RC1 / RC2 2332108-01 / Pump TCU 2862255-01 / O2-Analyzer ATM H2 cure RC 1/2.
ASM A 412 ist ein fortschrittliches thermisches Bearbeitungswerkzeug, das entwickelt wurde, um Diffusionssubstrate und zugehörige Komponenten gleichmäßig zu erhitzen. Es kann Substrate von bis zu sechs Zoll Durchmesser mit einem beeindruckenden thermischen Gradienten von ± 3 ° C verarbeiten. Die Wärme wird durch langlebige rohrförmige Heizelemente erzeugt, die über unabhängige Energiesteuerungssysteme betrieben werden. Das Gerät ist mit Wärmebehandlungsfunktionen wie vorbehandelter Heizung, gleichmäßigem Einweichen, kurvenfolgender Heizung und Kühlgeschwindigkeitsregelung ausgestattet. Diese Vorrichtung weist einen Vakuumbruch auf, wodurch der Ofen evakuiert werden kann, um Luft oder andere Gase von der Substratoberfläche zu entfernen, bevor die Diffusion erfolgt. Der Diffusionsvorgang erfolgt bei Erregung der Heizelemente, wodurch die Temperatur des Ofens auf einen gewünschten Sollwert angehoben wird. Das Substrat wird dann in die heiße Zone gelegt, um den Diffusionsprozess zu beschleunigen. Das Gerät verfügt über eine vertikale Beladungskonstruktion, die einen schnellen und einfachen Zugang zum Substrat sowie einen gleichmäßigen Temperaturgradienten im gesamten Ofen ermöglicht. Darüber hinaus verfügt es über ein in die Heizkammer integriertes Luftkühlsystem, das die Diffusionszeit deutlich reduziert. Darüber hinaus verfügt das Gerät über einen erweiterten Graphitheizer, der hilft, die erforderliche Temperaturgleichförmigkeit aufrechtzuerhalten. Um ein optimales Sicherheitsniveau zu gewährleisten, verfügt das Gerät auch über einen Notschalter. ASM A412 Diffusionsmaschine ist ein einfach zu bedienendes, zuverlässiges Werkzeug, das für eine Vielzahl von Diffusionsverfahren verwendet werden kann. Dank seiner Flexibilität ist es eine gute Wahl für diejenigen, die eine schnelle, zuverlässige und leistungsstarke thermische Verarbeitung benötigen. Seine Kombination von Funktionen sorgt für große Ergebnisse, so dass es eine gute Wahl für diejenigen in der Diffusionsverarbeitung Geschäft.
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