Gebraucht ASM A 412 #9170221 zu verkaufen

ASM A 412 ist ein Diffusionsofen und Zubehör für Halbleiterherstellungsanwendungen. Es ist für die Diffusion von Dotierstoffen in Wafer ausgelegt. Die Ausrüstung ist mit einer breiten Palette von Funktionen ausgestattet, um eine effiziente, sichere und wiederholbare Verarbeitung zu gewährleisten. Die Ofenkammer besteht aus hochwertigen Materialien und enthält ein Quarzrohr, um während der Prozesszyklen vor Verunreinigungen zu schützen. Es wird durch eine vierzonige, konstante Temperatur vertikale Heizung beheizt. Die vier hochpräzisen Heizpatronen werden von einem unabhängigen PID-Controller gesteuert, der eine wiederholbare Temperaturgenauigkeit (± 0,01 ° C) gewährleistet. Es ist auch mit einer gekühlten oberen Platte für eine gleichmäßige isotherme Verarbeitung ausgestattet. ASM A412 verfügt über einen leistungsstarken, automatisierten Endpunktdetektor, der eine genaue Endpunkterkennung gewährleistet und potenzielle Fehler im fertigen Produkt beseitigt. Es verfügt außerdem über eine automatisierte Hebebühne mit Servomotor, die ein gleichmäßiges Be- und Entladen von Wafern gewährleistet. Das elektronische Bedienfeld liefert alle notwendigen Informationen über Betriebsparameter und Sicherheit und macht den Prozess völlig einfach und intuitiv. Eine 412 enthält auch eine robuste Vakuumeinheit. Es ist in der Lage, niedrige Vakuumpartialdrücke in der Diffusionskammer aufrechtzuerhalten, was genaue und wiederholbare Diffusionsprozesse ermöglicht. Das Ofenzubehör umfasst eine automatisierte Vorschaumaschine, ein Kühl- und Entlüftungswerkzeug und eine inerte Reinigungsanlage. Diese Komponenten gewährleisten einen ordnungsgemäßen und effizienten Betrieb des Ofens. A412 ist konstruiert, um überlegene Wafer Gleichmäßigkeit und Ausbeute zu liefern. Sein hoch entwickeltes Design und Technologie machen es die vollkommene Wahl für hohe Leistungshalbleiterherstellungsprozesse. Mit seiner breiten Palette von Funktionen, genauer und zuverlässiger Leistung und einfacher Wartung ist es das ideale Werkzeug für Ihre Diffusionsprozesse.