Gebraucht ASM ETW-450 #9200208 zu verkaufen

ASM ETW-450 ist ein fortschrittlicher Diffusionsofen, mit dem Gasarten in feste Materialien eingeführt werden. Es ist ein leistungsfähiges und vielseitiges Werkzeug, das es ermöglicht, Dotierungselemente wie Arsen und Phosphor in die Kornstruktur einer Vielzahl von Halbleitermaterialien sowohl in Form von festen Einkristallen als auch in dünnen Schichten einzubauen. Das System besteht aus der Hauptofeneinheit, einem Annealer und einer zugehörigen Kammer für Dotierungsvorgänge. Die Ofenkammer ist mit Graphitisolierung ausgekleidet, und der Annealer ist mit einem Graphitbootsockel ausgestattet. Die thermische Gleichmäßigkeit im Annealer wird durch Luftzirkulation gewährleistet. Darüber hinaus kann das System entweder mit einem Heißwand- oder Kaltwandzerstäuber verbunden sein, um den Wirkungsgrad des Dotierstoffeinbauprozesses zu erhöhen. Der Ofen kann entweder einstufig oder zweistufig betrieben werden. Im einstufigen Betrieb werden Gasarten in die heiße Zone des Ofens eingespritzt, wo Temperaturen von bis zu 1000 ° CAE erreicht wurden. Die erhaltenen Arten werden dann in das Probenmaterial diffundiert. Im zweistufigen Betrieb werden zunächst Gasarten in die kalte Zone des Ofens eingespritzt, wo Temperaturen von bis zu 150 ° CAE erreicht wurden. Dadurch wird der Dotierstoff in bestimmte oder mehrere heiße Zonen der Probe lokalisiert. Nach Erreichen des gewünschten Lokalisierungsgrades des Dotierungsmittels werden die Temperaturen in der heißen Zone auf die gewünschte Betriebstemperatur angehoben, wodurch die Diffusion der Gasspezies in das Probenmaterial ermöglicht wird. ETW-450 ist mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, um eine sichere Arbeitsumgebung zu gewährleisten, wie z. B. nachgefüllte Inertgassteuerung, überwachte Temperatur- und Drucksensoren und digitale Gassteuerung. Insgesamt ist das System ein effizientes und sicheres Verfahren zur Abscheidung von Dotierungselementen in Halbleitermaterialien. Seine Flexibilität, kombiniert mit seiner zuverlässigen Leistung, liefert hervorragende Ergebnisse und sorgt für Wiederholbarkeit in Fertigungsprozessen.