Gebraucht ASM SP 32 #9136879 zu verkaufen

ASM SP 32 ist ein Glüh- und Diffusionsofen von ASM International. Es ist für den Einsatz in der Herstellung von Halbleiterbauelementen konzipiert und verfügt über eine erweiterte Prozesssteuerung zur Optimierung der Prozessleistung. Der diskrete Pegelzugriff auf SP 32 ermöglicht eine schnelle und präzise Abstimmung der Prozessparameter. Die Quarzglasplatte und die Innenwand kombinieren, um Vibrationen und thermische Gradienten im Ofen zu reduzieren und ein gleichmäßiges Temperaturprofil in der gesamten Arbeitskammer zu gewährleisten. Die große Quarzplatte kann bis zu vier 8 "oder drei 12" oder 2 15 "Wafer gleichzeitig zum Glühen und Diffundieren aufnehmen. Der innere Ventilator sorgt für eine turbulente Gasströmung, was zu einem verbesserten thermischen Profil und einer gleichmäßigen Erwärmung der Wafer führt. Es ist auch mit mehreren Gaskanälen ausgestattet, die für die Gasförderung oder andere Funktionen genutzt werden können. Darüber hinaus sind die Quarzteile wiederverwendbar und verfügen über eine ausreichende Beständigkeit, um einem längeren Betrieb in korrosiven Umgebungen standzuhalten. Der integrierte programmierbare Controller verfügt sowohl über manuelle als auch automatische Modi für die automatische Prozesssteuerung, Überwachung und Schritte für das Total Cycle Management. Zusätzlich können die Temperatur- und Betriebsparameter im Controller gespeichert werden, so dass ein einfacher Austausch zwischen verschiedenen Benutzern möglich ist. Das Standardmodell hat eine maximale Betriebstemperatur von 900 ° C und eine maximale Heizrate von bis zu 150 ° C/min. Der Ofen ist auch mit einem optionalen Schnellkühlsystem erhältlich, um Zykluszeiten zu reduzieren und die Verarbeitung wärmeempfindlicher Substrate zu erleichtern. ASM SP 32 ist mit einem einachsigen automatisierten Ladesystem ausgestattet und eignet sich somit für kontinuierliche Losläufe mit voller Automatisierung. Die Zugangspaneele sind speziell entwickelt, um Wärmeübertragung zu minimieren und die Partikelabscheidung zu minimieren, um qualitativ hochwertige Ergebnisse zu gewährleisten. Mehrere Sicherheitsverriegelungen sind in SP 32 integriert, um Unfälle zu vermeiden und einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Insgesamt ist ASM SP 32 ein zuverlässiges und hochpräzises Verfahren, mit dem eine Vielzahl von Halbleitersubstraten diffundiert, geglüht oder nitridiert werden können. Mit seinem hochleistungsfähigen programmierbaren Controller und verschiedenen Zugriffspanels können Benutzer den gesamten Prozess einfach programmieren, überwachen und steuern, um eine außergewöhnliche Leistung zu erzielen.