Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #155754 zu verkaufen

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ID: 155754
Furnace, 8" Process: Poly Safety specification: TEL Standard System paint color: Biege white System power rating: AC200V, 3P / AC100V, 1P Loading configuration: (4) Loaders / (127) Wafer slots Process pressure (Torr): Low pressure Process temperature: 600º C FTP Heater: Installed Rapid cooling unit: Installed Heater type: VOS-40-017 Process gases: Process gas MFC 1,2,3,4: N2 Process gas MFC 5, 6: SiH4 Process gas MFC 7, 8, 9: PH3 Gas system: Filter: MOTT Pou-20S-SV2, Ni Air valve: FUJIKIN: Diaphragm type Mega-mini and block MFC: STEC SEC-74 Series Check valve: FUJIKIN O-Ring seal type Hand valve: FUJIKIN: Diaphragm type Regulator: VERIFLO SQ Series Pressure transducer: NAGANO ZT 17 Others: Joint: Gasket type: Pure nickel type Piping material: SUS316L Up tube Piping working method: Welding Welding methods: Automatic welding Gas exhaust system: Dry pump: EBARA A150W-T Main valve: MKS 172-1080P Vacuum gauge: MKS Baratron sensor normal type Joint: Gasket JIS Method Piping material: SUS316BA, stainless steel APC: MKS 253B-3-80-2, butterfly valve VG1: 0 to 10 Torr, Normal type VG2: 0 to 1000 Torr, Normal type VG3: ULVAC GP-2A, Pirani gauge Manifold: Structure: Sealing method: End point sealing Material: SUS316L Stainless steel Port: Gas port: 3/8" Ultra torr Inner T/C port: 20DAI Ultra torr Exhaust port: 3 DIA Cooling method: Water cooling Safety Interlock: Gas flow low MFC: Too low gas flow Alarm: > 5% Abort: ± 10% Gas flow high MFC: Too high gas flow Alarm: > 5% Abort: ± 10% Low PCW flow: No PCW supply Alarm: > 3min Abort: > 5min Heater break down: > 7min PCW Leak detection: Alarm Process heater over temperature: Chamber over heat Heater break down: > 3 sec Furnace area over temperature: Alarm Heater break down: > 3 sec SCR Area over temperature: Alarm Heater break down: > 3 sec Interruption of electric power: Alarm Abort: < 3 sec Heater break down: > 3 sec Gas flow sequence: Alarm Pump off: Alarm Pump trouble: Alarm Pressure low (reactor tube pressure): Alarm Pressure high (reactor tube pressure): Alarm Leak check (reactor tube pressure): Main valve off delay: 10 min Abort: > 20mTorr Currently warehoused 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S ist ein Diffusionsofen zur Optimierung und Verfeinerung von Halbleiterprozessen durch innovative Heiz-, Extraktions- und Wärmebehandlungen von Halbleiterscheiben. Eine fortschrittliche thermische Kontrollausrüstung ermöglicht eine hochpräzise Temperaturregelung des gesamten Prozesses und liefert konsistente Ergebnisse. TEL ALPHA-8S bietet eine Funktion für Tieftemperaturscannen und „Power Save“, die sicher und zuverlässig optimale Lötverbindungsverfahren und Barrierefilmbeschichtungsprozesse ermöglicht. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S ist mit einem leistungsstarken Abgasabsaugsystem ausgestattet, das für eine emissionsfreie Verarbeitung konfiguriert werden kann. Es verfügt über zwei elektro-thermische Heizungen mit einer maximalen Temperatur von 1920 ° C, die den Benutzer mit einer effizienten und sicheren Möglichkeit ausstatten, Proben in wiederholbarer Weise zu glühen und wärmebehandeln, mit konsistenten Ergebnissen. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S ist weiter mit kontinuierlichem AUTO PECVD ausgestattet, mit Plenum-Gasmischern, die eine schnelle und einfache Wartung der Einheit ermöglichen. TOKYO ELECTRON Alpha 8S ist eine vollautomatische Maschine, die sowohl intuitiv als auch benutzerfreundlich ist. Sein robustes Design umfasst Funktionen wie verbesserte Programmierbarkeit, leistungsstarke Hardwaresteuerung und benutzerdefinierte Alarm- und Programmablaufeinstellungen. Das Tool ist auch skalierbar, so dass Benutzer Komponenten hinzufügen und Upgrade-Funktionen im Laufe der Zeit. TEL Alpha 8S ist zudem mit mehreren Zubehörteilen ausgestattet, die für ein sicheres und problemloses Erlebnis sorgen. Zu diesen Zubehörteilen gehören eine fortschrittliche Filteranlage, die eine mögliche Kontamination verhindert. Die Vakuumdichtung ermöglicht effiziente, wiederholbare Prozesse und ein Hochleistungs-Thermobruch-Stoker-Modell sorgt für Gleichmäßigkeit in der Probe. Schließlich ermöglicht ein optionaler PC-Control-Modus Benutzern den einfachen Zugriff und die Verwaltung von Daten und Programmeinstellungen. ALPHA 8 S ist ein hochwirksamer und effizienter Diffusionsofen, der mit fortschrittlichen Funktionen und Zubehör ausgestattet ist, um einen optimal effizienten Halbleiterprozess zu gewährleisten. Das innovative Design und die Eigenschaften machen diese Lösung ideal für eine Reihe komplexer und hochpräziser Wärmebehandlungs-, Glüh- und Beschichtungsprozesse.
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