Gebraucht ADIXEN AMS 110 #9200290 zu verkaufen

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Hersteller
ADIXEN
Modell
AMS 110
ID: 9200290
Wafergröße: 4"-6"
Weinlese: 2007
DRIE Etcher, 4"-6" ICP Etching system for silicon Includes: Vacuum pumps, chiller Process chamber: Bosch licence Substrate holder in ESC finger clamping version+LAUDA Chiller type RK8CP Wafer centering kit Source power supply: 3 kW RF Bias power supply: 300 W LF Chamber primary pump: ADIXEN Dry pump (ADP 122) Chamber maglev turbo molecular pump: ADIXEN ATH 1600 MT DN 200 Throttle valve VAT 61 series Gas lines: SF6/1000 sccm C4F8/400 sccm O2/200 sccm Load-lock: Single wafer manual vacuum load lock including: One cover (Aluminium and plexiglass) Manual wafer transfer arm: Load-lock and process chamber Control module: Allen bradley PLC and industrial PC with its UPS User interface: Windows 2000 Separate electrical cabinet including main control panel RF/LF generators and PLC AMS 100 system is delivered with 10m cable: Electrical cabinet Process module Documentation: Users / Maintenance manual on CD-ROM and PC hard disk Electrical schematics on standard paper Components manual on CD-ROM Options: Basic structure: Heated liner installed in source chamber Automatic load lock Pumping station: Heated valve VAT 65 series and by-pass valve End point detection: Digilem 200: IR (905nm) Camera Substrate holder 100 mm kit: 4" Additional ESC pin 2007 vintage.
ADIXEN AMS 110 Ätzer/Ascher ist ein fortschrittliches thermisches Verarbeitungssystem für eine breite Palette von Ätz- und Ascheanwendungen. Es verfügt über eine leistungsstarke Kombination aus Gaslieferung, Temperaturregelung und physikalischen Flugfähigkeiten und ist damit ein ideales Werkzeug für anspruchsvollste Ätz- und Ascheprozesse. AMS 110 bietet hervorragende Ätz- und Ascheergebnisse mit schneller und wiederholbarer Verarbeitung dank fortschrittlicher Hochleistungs-Inertgasdüsen und Temperaturregelung. Der modulare Aufbau des Ätzers/Aschers ermöglicht eine breite Palette von Konfigurationen, die auf den spezifischen Bedürfnissen des Benutzers basieren. Das System bietet bis zu vier unabhängige Gasregelkanäle, so dass Benutzer mehrere Gase gleichzeitig verarbeiten können. Jeder Kanal ist mit unabhängiger Durchfluss- und Temperaturregelung ausgestattet, so dass der Benutzer Prozessergebnisse optimieren kann. Darüber hinaus können mehrere Ziele gleichzeitig verarbeitet werden, so dass mehrere Benutzer viele ähnliche Teile oder viele andere Teile parallel verarbeiten können. Die innovative Physik-of-Flight-Technologie von ADIXEN AMS 110 hilft, das Plasma zu formen und die Ziele gleichmäßig abzudecken, was zu Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit in der Verarbeitung führt. Der Ätzer/Ascher ist auch mit einer optionalen Hochstrom (bis zu 100 Ampere) ICP-Stromquelle für Ätz- und Ascheanwendungen ausgestattet, die eine höhere Präzision erfordern. Die benutzerfreundliche Oberfläche ermöglicht eine präzise Steuerung des Ätzers/Aschers mit einer intuitiven, grafischen Programmieroberfläche für ein einfaches Setup. Die Software für AMS 110 enthält auch eine Vielzahl fortschrittlicher Funktionen wie Prozessüberwachung, automatisierter Gasaustausch und rezeptbasierte Produktion. Der Benutzer kann auch mehrere hierarchische Benutzerebenen festlegen, so dass jedem Benutzer Zugriff auf die spezifischen Funktionen gewährt wird, die er benötigt. Insgesamt ist ADIXEN AMS 110 Ätzer/Ascher ein innovatives System, das entwickelt wurde, um leistungsstarke, wiederholbare Ätz- und Ascheergebnisse zu liefern und gleichzeitig eine Vielzahl von Anforderungen für mehrere Benutzer zu erfüllen. Die Kombination aus Temperaturregelung, Gasförderung und Physik-of-Flight macht es zu einem idealen Werkzeug für anspruchsvollste Ätz- und Ascheprozesse.
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