Gebraucht ADIXEN AMS 110 #9200290 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9200290
Wafergröße: 4"-6"
Weinlese: 2007
DRIE Etcher, 4"-6"
ICP Etching system for silicon
Includes:
Vacuum pumps, chiller
Process chamber:
Bosch licence
Substrate holder in ESC finger clamping version+LAUDA Chiller type RK8CP
Wafer centering kit
Source power supply: 3 kW RF
Bias power supply: 300 W LF
Chamber primary pump: ADIXEN Dry pump (ADP 122)
Chamber maglev turbo molecular pump: ADIXEN ATH 1600 MT
DN 200 Throttle valve VAT 61 series
Gas lines:
SF6/1000 sccm
C4F8/400 sccm
O2/200 sccm
Load-lock:
Single wafer manual vacuum load lock including:
One cover (Aluminium and plexiglass)
Manual wafer transfer arm: Load-lock and process chamber
Control module:
Allen bradley PLC and industrial PC with its UPS
User interface: Windows 2000
Separate electrical cabinet including main control panel
RF/LF generators and PLC
AMS 100 system is delivered with 10m cable:
Electrical cabinet
Process module
Documentation:
Users / Maintenance manual on CD-ROM and PC hard disk
Electrical schematics on standard paper
Components manual on CD-ROM
Options:
Basic structure:
Heated liner installed in source chamber
Automatic load lock
Pumping station: Heated valve VAT 65 series and by-pass valve
End point detection:
Digilem 200: IR (905nm) Camera
Substrate holder 100 mm kit: 4" Additional ESC pin
2007 vintage.
ADIXEN AMS 110 Ätzer/Ascher ist ein fortschrittliches thermisches Verarbeitungssystem für eine breite Palette von Ätz- und Ascheanwendungen. Es verfügt über eine leistungsstarke Kombination aus Gaslieferung, Temperaturregelung und physikalischen Flugfähigkeiten und ist damit ein ideales Werkzeug für anspruchsvollste Ätz- und Ascheprozesse. AMS 110 bietet hervorragende Ätz- und Ascheergebnisse mit schneller und wiederholbarer Verarbeitung dank fortschrittlicher Hochleistungs-Inertgasdüsen und Temperaturregelung. Der modulare Aufbau des Ätzers/Aschers ermöglicht eine breite Palette von Konfigurationen, die auf den spezifischen Bedürfnissen des Benutzers basieren. Das System bietet bis zu vier unabhängige Gasregelkanäle, so dass Benutzer mehrere Gase gleichzeitig verarbeiten können. Jeder Kanal ist mit unabhängiger Durchfluss- und Temperaturregelung ausgestattet, so dass der Benutzer Prozessergebnisse optimieren kann. Darüber hinaus können mehrere Ziele gleichzeitig verarbeitet werden, so dass mehrere Benutzer viele ähnliche Teile oder viele andere Teile parallel verarbeiten können. Die innovative Physik-of-Flight-Technologie von ADIXEN AMS 110 hilft, das Plasma zu formen und die Ziele gleichmäßig abzudecken, was zu Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit in der Verarbeitung führt. Der Ätzer/Ascher ist auch mit einer optionalen Hochstrom (bis zu 100 Ampere) ICP-Stromquelle für Ätz- und Ascheanwendungen ausgestattet, die eine höhere Präzision erfordern. Die benutzerfreundliche Oberfläche ermöglicht eine präzise Steuerung des Ätzers/Aschers mit einer intuitiven, grafischen Programmieroberfläche für ein einfaches Setup. Die Software für AMS 110 enthält auch eine Vielzahl fortschrittlicher Funktionen wie Prozessüberwachung, automatisierter Gasaustausch und rezeptbasierte Produktion. Der Benutzer kann auch mehrere hierarchische Benutzerebenen festlegen, so dass jedem Benutzer Zugriff auf die spezifischen Funktionen gewährt wird, die er benötigt. Insgesamt ist ADIXEN AMS 110 Ätzer/Ascher ein innovatives System, das entwickelt wurde, um leistungsstarke, wiederholbare Ätz- und Ascheergebnisse zu liefern und gleichzeitig eine Vielzahl von Anforderungen für mehrere Benutzer zu erfüllen. Die Kombination aus Temperaturregelung, Gasförderung und Physik-of-Flight macht es zu einem idealen Werkzeug für anspruchsvollste Ätz- und Ascheprozesse.
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