Gebraucht ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 601E #9197180 zu verkaufen

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ID: 9197180
Deep reactive ion etcher (DRIE).
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 601E ist ein Ätzer/Ascher zum physikalischen und chemischen Ätzen von Halbleiterscheiben. Es ist ein Inertgas-Plasma-verbesserter Ätzer, der eine breite Palette von Wafer-Prozessgasen unterstützen kann, einschließlich Helium, Wasserstoff und Sauerstoff. Der Ätzer ermöglicht durch seine hochauflösende, einstellbare Zeit- und Temperaturregelung ein gleichmäßiges Heizen und chemisches Ätzen von Wafern. Es ist mit mehreren automatischen Funktionen für einen optimalen Betrieb ausgestattet, einschließlich eines Mehrzonen-Gaspanels für eine genaue Gasverteilung. ADIXEN 601E ist ein vielseitiger Ätzer mit einer breiten Palette von Funktionen. Es kann einzelne oder mehrere Waferätzoperationen mit anpassbaren Zeit- und Temperatureinstellungen unterstützen und eine gleichmäßige und effiziente Entfernung unerwünschter Materialien gewährleisten. Zusätzlich bietet der Ätzer einstellbare Gasströmungs- und Druckniveaus, die es Anwendern ermöglichen, den Prozess auf ihre spezifischen Anforderungen abzustimmen. Der Ätzer ist auch mit einem hochauflösenden, einstellbaren Zielmustergenerator ausgestattet, der bis zu 8 verschiedene Ziele pro Wafer erzeugen kann. ALCATEL 601E ist einfach zu bedienen und verfügt über mehrere Sicherheitsmerkmale. Es ist mit einer Diagnoseanzeige ausgestattet, die Rückmeldungen zum Ätzprozess liefert und einen störungsfreien Betrieb ermöglicht. Darüber hinaus enthält der Ätzer eine Reihe von Sicherheitsverriegelungen und Alarmen, die bei unangemessenen Bedingungen optische und akustische Warnungen liefern. Weitere nützliche Funktionen sind ein Notabschaltknopf und ein automatisches Abschaltsystem für mehr Sicherheit. 601E ist auf höchste Qualitäts- und Zuverlässigkeitsstandards ausgelegt. Es besteht aus korrosionsbeständigem Edelstahl und verfügt über ein Vakuum-Quarzfenster, das den Verlust der Probenintegrität während langfristiger Operationen verhindert. Es ist auch für den Betrieb unter extremen Temperatur- und Druckbedingungen konzipiert, so dass es für eine breite Palette von Anwendungen geeignet ist. Darüber hinaus ist der Ätzer auf die Anforderungen der SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) und anderer branchenspezifischer Sicherheits- und Qualitätsstandards ausgelegt.
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