Gebraucht ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9173294 zu verkaufen

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ID: 9173294
I- Speeder ESC with N2 liquid cooling SiO2 thin film etching, SiN, Si-DRIE, Pt sputter etching Manual load No atmospheric robot.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 Ätzer/Ascher ist ein Präzisionswerkzeug zum Ätzen oder Aschen auf einem Substrat. ADIXEN AMS 200 ist ein vollautomatisches System, das Vorausrichtungs- und Kantenplatzierungs-, Ätz- und Aschetechnologien kombiniert. Es ist eine vollständig integrierte Lösung zum Ätzen oder Aschen mit beispielloser Genauigkeit und Wiederholbarkeit. ALCATEL AMS 200 ist mit einem 500 Watt Generator und einem 70 mm Substratkopf ausgestattet, der eine 25 bis 60 mm Substratplatzierungsgenauigkeit erzeugen kann. Der Substratkopf wird von einem Sigma 5 PiezoMotor angetrieben, einem Präzisionsregler, der eine präzise Platzierung und Ausrichtung des Substrats gewährleistet. Dies gewährleistet eine enge Genauigkeit und Konsistenz über eine Reihe von Substraten. PFEIFFER AMS 200 verfügt über eine automatisierte Vorausrichtung, die jedes Substrat an einem vorbestimmten oder programmierten Ausgangspunkt ausrichtet. Zusätzlich zur Gewährleistung enger Toleranzen platziert die Pre-Lign-Software den Substratkopf in einem definierten engen Intervall, typischerweise innerhalb von 0,6 mm. AMS 200 verfügt auch über eine hochpräzise 600 Watt Fokuslinse, die ein extrem einheitliches Gaußstrahlprofil zum Ätzen oder Aschen bietet. Die Linse ermöglicht auch eine Vielzahl von Brennweiten für eine Vielzahl von Substratgrößen und Materialien. Zusätzlich kann die vertikale Höhe und der Winkel der Linse an die Höhe eines Substrats angepasst werden. ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 enthält auch eine Reihe weiterer Funktionen, um Substratschäden zu reduzieren und schnelle Umdrehungen zu ermöglichen. Die Maschine läuft im halbautomatischen Modus, d.h. der Bediener kann während der Asche- oder Ätzzyklen mit dem Ätzer arbeiten. Zusätzlich ist eine adiabatische Abschirmung auf dem Substratkopf enthalten, um Temperaturschwankungen zu reduzieren und mögliche Schäden während der Verarbeitung zu reduzieren. Zusammenfassend bietet ADIXEN AMS 200 Anwendern ein zuverlässiges und genaues System zum Ätzen oder Veraschen auf einer Vielzahl von Oberflächen. Es kombiniert Vorausrichtungs- und Kantenplatzierung, Ätz- und Aschetechnologien, ein hochpräzises Fokusobjektiv und andere Funktionen. Dies macht ALCATEL AMS 200 zu einer starken Wahl für Präzisionsätz- oder Ascheanwendungen.
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