Gebraucht ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9200581 zu verkaufen

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ID: 9200581
I-Speeder DRIE of Si, SiO2, SiN Atmospheric robot Mechanical clamp.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 ist ein hochpräziser automatisierter Ätzer/Ascher. Es wurde entwickelt, um saubere und zuverlässige Ätzergebnisse über eine breite Palette von geätzten Oberflächen zu liefern. ADIXEN AMS 200 ist eine zuverlässige und kostengünstige Alternative zu herkömmlichen manuellen Ätzverfahren. ALCATEL AMS 200 verfügt über ein vielseitiges, benutzerfreundliches Bedienfeld mit intuitiver Bedienung und umfassender Prozesssteuerung. Es ermöglicht dem Benutzer, aus mehreren Parametern zu wählen, die den Ätzprozess definieren, einschließlich Kammerdruck, Prozesszeit und Gasfluss. Das Bedienfeld überwacht auch Prozessparameter in Echtzeit, wodurch es einfach ist, den Prozess auf optimale Ergebnisse einzustellen. PFEIFFER AMS 200 verwendet eine Quarzkammer mit einem einzigartigen internen Design, um ein gleichmäßiges Ätzen auf dünnen und dicken Proben zu ermöglichen. Die Quarzkammer weist einen elliptischen Querschnitt auf, der einen besseren Wärmeübergang für ein gleichmäßiges Ätzen ermöglicht. Es verwendet auch eine Gasverteilungseinrichtung mit mehreren Widerstandsheizelementen, um eine gleichmäßige Wärmeverteilung für eine bessere Ätzung zu gewährleisten. AMS 200 verfügt auch über zwei Vakuumpumpen für Probenevakuierung und Probenübertragung. Die Vakuumpumpen werden isoliert, so dass Proben unabhängig erwärmt werden können, um Kreuzkontaminationen zu vermeiden. Dies ermöglicht ein kontrolliertes Ätzen mit nur dem in der Kammer vorhandenen Ätzgas, was zu detaillierteren Ätzflächen führt. Die Temperaturregelung von ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 ist präzise und kann in 10-Sekunden-Schritten bis zu einer maximalen Temperatur von 600 ° C eingestellt werden. Es enthält auch ein High-End-Kühlsystem, um eine genaue Temperaturregelung innerhalb der Kammer zu gewährleisten. Darüber hinaus ist die Abgasanlage mit einer Vakuumpumpe ausgelegt, um die Notwendigkeit einer Entlüftung zu eliminieren, wodurch der Prozess effizienter wird. Insgesamt ist ADIXEN AMS 200 ein zuverlässiger, kostengünstiger und zuverlässiger Ätzer/Ascher für eine breite Palette von geätzten Oberflächen. Das intuitive Bedienfeld und die umfassende Prozesssteuerung machen es einfach, die Ätzparameter für optimale Ergebnisse anzupassen. Seine fortschrittliche Quarzkammer und Vakuumpumpen sowie seine leistungsstarke Temperaturregelung und Kühlmaschine sorgen für präzises und gleichmäßiges Ätzen bei minimaler Wartung.
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