Gebraucht ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 4200 #9123425 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9123425
Weinlese: 2008
Etcher
(1) Chamber
Process: Deep silicon bosch
SF6, C4F8, O2, Ar, N2, He, CHF3
Brooks platform
Dual loadlocks
Magnatron 7
ALCATEL ACT 600M TMP
User interface PC
Transfer PC
Process chamber: AMS X200
ALCATEL ACT 1300M TMP
Process gases:
SF6 1000sccm
C4F8 400sccm
O2 100sccm
O2 800sccm
Ar 200sccm
N2 1000sccm
Ar
CHF3
EDM
CS200-11729
200 / 208VAC, 3 Phase, 50/60Hz
ALCATEL AMS X200
(2) SEMCO HV52000C
SEREN L301 RF
Advanced energy dressler cesar RF
ENI Spectrum B-3013 RF
200/208VAC, 3 Phase, 50/60Hz
2008 vintage.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 4200 ist ein Hightech-Ätzer/Ascher, der den Anforderungen der industriellen Großproduktion gerecht wird. Diese präzise und vollautomatische Ausrüstung gewährleistet einen präzisen, wiederholbaren Prozess zum Ätzen und Aschen von Proben und Substraten. Das System verfügt über eine integrierte Hochvakuumfiltrationseinheit, um die Sauberkeit beim Ätzen und Aschen zu gewährleisten. Diese Filtrationsmaschine entfernt die häufigsten Verunreinigungen aus dem Gasstrom und hilft, die Kontamination der Probe zu verhindern. Darüber hinaus soll der automatisierte Prozess den Bediener vor den schädlichen Auswirkungen der Chemikalienbelastung schützen. ADIXEN AMS 4200 verwendet fortschrittliche Technologie, um einen qualitativ hochwertigen Ätz-/Ascheprozess zu gewährleisten. Die eingebaute Mehrzonen-Temperaturregeltechnik sorgt für eine präzise Temperaturregelung sowohl in der Prozesskammer als auch in der Gasströmung. Dies bietet sowohl genaue als auch wiederholbare Ätz-/Ascheergebnisse. Darüber hinaus macht die benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI) das Tool einfach zu bedienen. ALCATEL AMS 4200 bietet eine benutzerfreundliche und intuitive Oberfläche, die einen klaren Überblick über alle Parameter im Zusammenhang mit dem Ätz-/Ascheprozess bietet. Diese Anlage ist auch mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet. Beispielsweise sorgt der eingebaute Not-Aus-Mechanismus dafür, dass der Prozess bei sicherheitsrelevanten Problemen sofort eingestellt wird. Insgesamt ist PFEIFFER AMS 4200 ein Top-of-the-line Ätzer/Ascher. Seine Präzision, Automatisierung und Sicherheit machen es zu einer idealen Wahl für die industrielle Großproduktion. Seine benutzerfreundliche GUI und robuste Sicherheitsfunktionen machen es sowohl sicher als auch einfach zu bedienen, so dass es ein Go-to-Produkt zum Ätzen und Aschen.
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