Gebraucht ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER GIR #9092919 zu verkaufen

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER GIR ist eine Hochvakum-Trockenätzanlage für fortgeschrittene Prozesse und reaktive Ionenätzung (RIE) in Untermikron-Merkmalsgrößen. Dieses System ist in der Lage, bis zu 0,01 mm tief und mit einer Genauigkeit von bis zu 0,1 mm zu ätzen. ADIXEN GIR verfügt zudem über eine Gasfördermaschine mit vier Gasleitungen, die unterschiedliche Prozesskombinationen wie O2/CHF3 und Ar/Cl2 ermöglichen. ALCATEL GIR Werkzeug umfasst eine Vakuumkammer, eine Einführvorrichtung, eine Steuereinheit und eine Pumpstation. Die Kammer ist mit mindestens einer Turbopumpe und einer Drehflügelträgerpumpe ausgestattet, um das erforderliche Vakuumniveau von 10-6 mbar zu erreichen. Die Hochleistungs-Prozesspumpe sorgt zusammen mit der turbomolekularen Pumpanlage für einen gleichmäßigen und stabilen Gasfluss während des gesamten Prozesses. Die Einführvorrichtung erlaubt es, die Probe sicher in die Kammer zu legen und ist so ausgelegt, dass eine Verschmutzung der Vakuumkammer vermieden wird. Das Prozessgas durchströmt den Regler, der die Strömungsgeschwindigkeit jedes vorhandenen Gases kombiniert und charakterisiert. Das Prozessgas wird dann dem Einspritzventil zugeführt, das eine gleichmäßige Gasverteilung in die Prozesskammer ermöglicht. GIR-Modell verfügt über eine intelligente Prozesssteuerung, die alle erforderlichen Parameter wie Temperatur, Druck und Sichtbarkeit überwacht. Die Geräte können über die intuitive grafische Benutzeroberfläche mit verschiedenen Ätzrezepten programmiert werden. Darüber hinaus enthält PFEIFFER GIR einen HF-Leistungsgenerator mit variabler Frequenz, der 20 Watt in situ HF-Leistung zur Optimierung der Ätzprozessparameter liefern kann, sowie einen 3D-Scanner zur präzisen messtechnischen Messung und Positionierung. Schließlich enthält ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER GIR Ätzsystem ein fortschrittliches Sicherheitsprogramm, um eine sichere Betriebsumgebung zu gewährleisten. Das Gerät verfügt über einen integrierten Temperaturüberschreitungsmelder mit automatischer Abschaltung und bietet zusätzliche Alarme für sicherheitsrelevante Funktionen. ADIXEN GIR enthält auch einen internen Flammendetektor. Zusammenfassend ist ALCATEL GIR eine fortschrittliche Hochleistungs-Ätzmaschine, die für die Größenätzung von Submikron-Funktionen entwickelt wurde. Es ist mit mehreren Gasleitungen ausgestattet und bietet eine intelligente Prozesssteuerung für genaue und sichere Ätzprozesse.