Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP-2055 VV #122877 zu verkaufen

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TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP-2055 VV
Verkauft
ID: 122877
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2003
Oxide etcher, 8" (2) Telius SP Vesta Chambers 2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP-2055 VV ist ein Ätzer/Ascher, der für Anwendungen entwickelt wurde, die eine hohe Genauigkeit und einen hohen Durchsatz für das Ätzen und Aschen von Ergebnissen höchster Qualität erfordern. Dies ist die ideale Ausstattung für eine Vielzahl von Proben von Materialien wie SiO2 und SiN bis hin zum anisotropen Ätzen von Metall-, Isolier- und Halbleitermaterialien. Das Ätzen/Aschen von Resists auf Metall/Silizium-Substraten kann auch anwendungsgerecht erfolgen. TEL Telius SP-2055 VV verfügt über ein Gasstromsystem mit einer mehrstufigen Pumpeinheit und einem Gaskasten, der angepasst werden kann, um die Verarbeitungsgeschwindigkeit zu erhöhen. Eine Vakuumregelung mit nachhaltiger Genauigkeit ermöglicht eine Antriebsgeschwindigkeit von bis zu 13.9L/min mit maximal 4,41 mbar in der Kammer. Es hat auch eine automatische Drucksteuerung (APC) Maschine, die die Einstellung des Druckniveaus bei Bedarf ermöglicht. Das Werkzeug hat auch eine selbstreinigende Turbomolekularpumpe mit einer Regenerationszykluszeit von 1-9 Minuten. TOKYO ELECTRON Telius SP-2055 VV verfügt auch über eine fortschrittliche Wafer-Temperaturregelung mit einem Arbeitsbereich zwischen -40 ° C und seiner Wafertemperaturgrenze bei 100 ° C. Sein verbessertes Kühlmodell ermöglicht es dem Bediener, die Kühlrate der Kammerwände anzupassen, um die Ätzprozesszeit bei Bedarf zu verlängern. Telius SP-2055 VV verfügt zudem über einen Präzisionsätzer/Ascher mit Lastverriegelung, der die Positionierung des Wafers auf dem Probenhalter ohne Öffnen der Revolvertür ermöglicht. Dies geschieht, um eine Kontamination der Probe beim Waferwechsel zu verhindern. Die umfangreiche Software bietet eine benutzerfreundliche Benutzeroberfläche zum Einrichten und Überwachen von Parametern. Auch die Rüstzeit und die Probenbeladungszeit verkürzen sich mit dem restaurativen Auto-Reinigungssystem. TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP-2055 VV ist speziell für hohe Genauigkeit und hohen Durchsatz von höchster Qualität entwickelt. Es verfügt über eine Gasströmungseinheit mit einer mehrstufigen Pumpe und einstellbarer Leistung und eine Vakuumsteuerungsmaschine mit einstellbarer Genauigkeit. Es hat auch ein verbessertes Wafer-Temperaturkontrollwerkzeug und Kühlmittel, um die Ätzzeit zu verlängern. Der Präzisionsätzer/Ascher verfügt zudem über ein Lastschloßmodell und eine automatische Reinigungsausrüstung sowie eine breite Palette an Software zur automatischen Einrichtung und Überwachung.
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