Gebraucht AUTOMATECH Altix #9195164 zu verkaufen

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Hersteller
AUTOMATECH
Modell
Altix
ID: 9195164
Weinlese: 2015
UV Exposure systems 1 Phase 2015 vintage.
AUTOMATECH Altix ist ein hochleistungsfähiges automatisiertes Belichtungsgerät, das speziell für die Halbleiterwaferbearbeitung entwickelt wurde. Das System ist mit einer optimierten hochpräzisen Translationsstufe ausgestattet, um komplexe dreidimensionale Strukturen zu präzisen Genauigkeiten ohne manuellen oder direkten Eingriff des Bedieners zu erstellen. Altix verfügt über vollständig variable Belichtungseinstellungen für maximale Flexibilität bei gleichbleibenden Ergebnissen und ausgezeichneter Linienschärfe. Sein patentierter Selbstlademechanismus wurde entwickelt, um die Belichtungszeit zu reduzieren und das Risiko von Schäden zu minimieren. Die optische Einheit von AUTOMATECH Altix ist wartungsarm und gewährleistet eine hervorragende Gleichmäßigkeit der Lichtleistung über eine Vielzahl von Betriebsbedingungen. Die Maschine hat eine breite Palette von räumlichen Frequenzen und Winkelauflösungen - von 0,2 µm bis 0,95 µm für breitbandige Spektralbelichtungen und 0,85 µm bis 10,5 µm für bandlimierte Belichtungen. So können Anwender Energie und Position einzelner Belichtungen präzise und genau steuern. Das Belichtungswerkzeug ist intuitiv und einfach zu bedienen, mit mehreren Betriebsarten und einer benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche. Es ist auch Ethernet und IEEE-1394 Netzwerkkommunikation fähig und kann in automatisierte Produktionssysteme integriert werden. Das Asset enthält vorab gespeicherte Maskenmuster für höhere Produktivität und verfügt über eine leistungsstarke CCD-Kamera für direktes Feedback und Auswertung von Masken und Resist-Bildern. Altix hat eine kompakte Bauweise mit einer geringen Stellfläche, die eine einfache Integration in bestehende Produktionssysteme ermöglicht. Es erfordert eine minimale Überwachung, um die Produktivität zu maximieren und kann in automatisierten Prozessen programmiert werden. Darüber hinaus kann dieses Modell aufgrund seines proprietären Luftlagerdesigns auf eine Vielzahl von Substraten ohne Trocknung oder Reinigung angewendet werden. AUTOMATECH Altix ist ideal für die Verarbeitung einer Vielzahl von Substraten mit vielfältigen Anwendungen wie Ätzen, Abscheiden und Teilwaferherstellung. Die hochpräzise Belichtung und die hervorragende Ergebnisqualität machen es für den Einsatz in fortgeschrittenen High-End-Halbleiterproduktionsprozessen geeignet. Insgesamt ist Altix die perfekte Lösung für diejenigen, die außergewöhnliche Ergebnisse benötigen und hohe Zuverlässigkeit, Genauigkeit und Geschwindigkeit verlangen.
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