Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 9500xR #9202423 zu verkaufen

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AMAT / APPLIED MATERIALS 9500xR
Verkauft
ID: 9202423
Ion implanter Currently installed.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 9500xR ist eine Hochleistungs-Ionen-Implantier- und Monitor-Ausrüstung für kommerzielle, Halbleiter- und Forschungs- und Entwicklungsanwendungen. Es umfasst ein leistungsstarkes High-End-Ionen-Abscheidungssystem und einen Echtzeit-Ionen-Monitor ohne Kontakt, um einheitliche Materialschichten zu gewährleisten. Das Gerät unterstützt eine breite Palette von Implantatgasarten und Energieniveaus für jede Anwendung. AKT 9500xR ist mit einer Multi-Energie-Strahllinie mit bis zu 12 Strahllinien und zwei unabhängigen Gittern ausgestattet, die mehrere Implantatschichten ermöglichen. Die Gitter sorgen für eine gleichmäßige und gleichzeitige Implantation über die Waferoberfläche. Die Implantatgasarten und Energieniveaus sind entsprechend dem gewünschten Ergebnis einstellbar. Die Pulsbreite kann auch an bestimmte Prozessanforderungen angepasst werden. Für eine schnelle, gleichmäßige Implantation und Schichtbildung verfügt AMAT 9500xR über einen hochmodernen, digital gesteuerten Ionenmonitor. Der Monitor misst kontinuierlich die Ionenmenge auf der Probenoberfläche und sorgt dafür, dass die Dosis möglichst gleichmäßig ist. Der Monitor wird auch verwendet, um eine gleichmäßige Implantation über mehrere Substrate zu automatisieren. 9500xR soll eine präzise Steuerung der Prozessparameter ermöglichen, so dass Anwender alle kritischen Prozessschritte präzise einstellen und steuern können. Es verfügt über eine erweiterte Benutzeroberfläche mit einem LCD-Display und optionaler Touchscreen-Technologie. Diese Schnittstelle kann so programmiert werden, dass relevante Bedingungen wie Vakuumpegel, Substrattemperatur und Ionenmonitor-Auslesungen angezeigt werden. APPLIED MATERIALS 9500xR wurde entwickelt, um konsistente, wiederholbare Prozessergebnisse zu liefern. Es verfügt außerdem über ein automatisiertes Prozessrekorder-Modul und eine optionale Auftragslisten-Maschine, mit der Sie mehrere Rezepte speichern und exakte Prozesse wiederholen können. Es ist auch möglich, das Werkzeug an spezifische Kundenanforderungen anzupassen, indem Zubehör wie Sensoren und Gaszuführungen hinzugefügt wird. Schließlich wird AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 9500xR durch technischen Support und Kundenservice von AKT unterstützt.
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