Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus #9194446 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus ist eine Ionenimplantationsanlage der nächsten Stufe, die entwickelt wurde, um den Durchsatz und die Genauigkeit für die anspruchsvollsten Anwendungen in der Geräteherstellung zu verbessern. AMAT Quantum X Plus bietet mit seiner hocheffizienten Implantationsmaschine eine schnelle und präzise erfahrungsbasierte Vorhersage von Ionenbahnen, die eine bessere Ladezustandsverteilung in fortschrittlichen Gerätearchitekturen ermöglicht. ANGEWANDTE MATERIALIEN Quantum X Plus baut auf dem Erfolg seiner Vorgänger Quantum und Quantum II auf, indem es eine verbesserte Prozesskammer-Zuverlässigkeit gewinnt und höhere Intensitäten für bessere Ergebnisse bei kleinen Torbreiten liefert. Das System wurde mit Blick auf Flexibilität und Präzision konzipiert und ermöglicht es Betreibern, ihre Prozessparameter weiter zu optimieren, um leistungsstarke Ergebnisse bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen der nächsten Generation zu erzielen. Quantum X Plus nutzt eine fortschrittliche Dual-Strahl-Einheit, mit einem monoenergetischen und einem gezwitscherten Strahl, ermöglicht die Kontrolle über die Energien und Dosis, unter Beibehaltung einer einheitlichen Dosisrate oder ein gewünschtes Profil. Die Maschine kann mit Energien bis 350 KeV betrieben werden und hat einen Bereich von 100 bis 2000 µA Protonenstrom. Komplexe Dosierprofile lassen sich mit bis zu 11 axialen Kippschritten und 8 axialen Kippschritten problemlos in das Werkzeug einprogrammieren. AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus verfügt über eine Ladungssubstrat-Vorspannung, um eine gleichmäßige Abscheidung von Ionen an jedem Punkt des Substrats unabhängig von seiner ursprünglichen Ladung zu gewährleisten. Das Modell ist auch mit einer kryogenfreien, wassergekühlten Kryokammer ausgestattet. Diese erweiterte Kammer reduziert sowohl die Größe als auch die Anzahl der Komponenten und spart so wertvollen Platz für die eigentliche Implantierkammer. Zusätzlich fügt die mehrachsige Ionenassistenzdüse vordefinierte Ionen hinzu und ist für einen verbesserten kontrollierten Betrieb ausgelegt. Die Geräte werden auch mit anspruchsvollen Monitor- und Steuerungssystemen geliefert. AMAT Quantum X Plus Monitor ist in der Lage, Daten in Echtzeit zu sammeln, so dass Benutzer den Fortschritt und die Fehlerbehebung in kürzester Zeit verfolgen können. Dieser Monitor bietet auch Funktionen wie Endframe-Überwachung, Druckprofile und Fluid-Management. ANGEWANDTE MATERIALIEN Quantum X Plus ist auch mit einer Reihe von Sensoren ausgestattet, so dass es potenzielle Probleme erkennen kann, bevor sie auftreten. Darüber hinaus bieten die Steuerungssysteme des Systems eine leistungsstarke Prozesssteuerung und Software für Wafer-Mapping und Prozessoptimierung. All diese Fortschritte machen Quantum X Plus zu einem leistungsstarken und zuverlässigen Instrument zur Verbesserung von Geräteherstellungsprozessen. Durch die Vereinfachung von Austausch und Wartung können Ausfallzeiten erheblich reduziert werden, was zu erhöhter Produktivität, erhöhter Prozessflexibilität und geringeren Betriebskosten führt. Es ist die ultimative Einheit für die Geräteherstellung und ein Muss für fortgeschrittene Geräteherstellungsanwendungen.