Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS xR Leap #9174557 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9174557
Ion implanter, 8"
Main components:
Processor module
Beamline module
Source services module
Processor rack
Heat exchanger / PDU
Mobile PC & desk
Clean room PC
Enclosure
Signal tower
TEM Probe
No VESDA smoke detector
ISO TX
Mains matching TX
Beamline, controllers PSU's and assy:
Pre accelerator / Mag controller
Beamline inst
Vacuum controller
Post A controller
Turbo controller
Focus PSU
Decel PSU
A Mag PSU
Pre A converter PSU
Source mag PSU
Suppression PSU
Beam path components, source / Extraction / Flight tube / MRS and PFS assy:
Source head type: IHC
Extraction type: Dual bellows
Flight tube
MRS
Pre defining
PFS Type: HD PFS
Gas cabinet (Source services):
PH3 Module: SDS
AsH3 Module: SDS
Boron: HP
Ar: HP
Purge module
PSU's, Controllers and assy:
Gas and temperature control
Filament PSU
Arc PSU
Bias PSU
DPS
Pre A HV stack
G2 PSU & Components
Vacuum system:
Make / Model / Description
SEIKO SEIKI / STP-1000 / Source turbo pump
SEIKO SEIKI / STP-450 / MRS turbo pump
CTI / OB-10 / Side cryo pump
CTI / OB-10 / Rear cryo pump
Processor PSU's controller and assy:
Wheel & components
Spin motor
Gripper
Transfer arm
Clip actuator
Blade
A/B Sensor
Tilt assy
PFS DP Box
Beam stop
Beam profiler
Filament PSU (PFS)
Wafer loader / Mini environment assy:
Carousel
Indexer
W/L Door
Orientor
Cassettes / Trays
Arm servo PSU (XR80)
Arm servo cont (XR80)
ISO TX 9500
Post A:
No HV stack
No converter PSU
No controller
Control rack:
DAQPDU
Option chassis
Target sys inst
W/L Cont
W/L Vacuum
Ground PDU
Target sys vacuum
Spin / Scan cont
Direct drive interface
Plasma flood chassis
Scan amp
Spin amp
Spin / Scan PDU
Bleed resistor
Motech 80
VME:
CPU Main board
Loop cont
Energy level: 0.2-80 keV
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS xR Leap ist ein fortschrittlicher Ionenimplantator und Monitor, der im Halbleiterherstellungsprozess verwendet wird. Es wurde entwickelt, um hochpräzise, ultraschnelle Implantationen von Dotierstoffen in Substrate für die Herstellung von Halbleiterbauelementen zu liefern. Es nutzt anspruchsvolle Software- und Hardwarelösungen, um höchste Genauigkeit zu bieten und bietet Kunden eine Vielzahl von Anpassungsoptionen, um die Lösung an ihre spezifischen Anforderungen anzupassen. AMAT xR Leap verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, Dual-Beam-Ionen-Source-Technologie, ein stationäres Magnetfeld und erweiterte magnetische Isolationsfähigkeit, um hochpräzise Implantationsraten und Partikeldichten zu gewährleisten. Die integrierte Monitorausrüstung ermöglicht eine Echtzeit-Messung und Qualitätskontrolle, während das optionale Datenerfassungssystem in Kombination mit einer 2D-Bilderfassungs- und -Analysesoftware dafür sorgt, dass der Prozess hochautomatisiert und rückverfolgbar ist. Das Gerät bietet auch zweistufige Kammantriebstechnologie für hochgenaue Strahlabtastung und simultane Implantation mehrerer Implantatarten. Es ist auch in der Lage, bis zu 250W Dosiswerte zu erreichen, und seine hocheffiziente Elektronenkühltechnologie garantiert niedrige Mengen an Post-Implantat-Energie Steigerung. Darüber hinaus ist ANGEWANDTE MATERIALIEN xR Sprungmaschine hoch skalierbar und entworfen, um verschiedene Niveaus der Implantationsrate, Strahlunempfindlichkeit und Spannungsregelung aufzunehmen. Es kommt auch mit anspruchsvoller Hard- und Software-Diagnose ausgestattet, so dass Techniker die Gesamtleistung des Tools überwachen und aufrechterhalten können. Die integrierten Sicherheitsfunktionen von XR Leap machen es zu einer viel zuverlässigeren Option für die anspruchsvollsten Halbleiterherstellungsprozesse, die dazu beitragen, Wartungskosten zu minimieren, Ausfallzeiten zu reduzieren und die Effizienz zu optimieren. Darüber hinaus ist das Asset einfach anzupassen und zu installieren, was es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Branchen macht.
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