Gebraucht EATON NOVA / AXCELIS NV 10-160 #149571 zu verkaufen

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ID: 149571
High current ion implanters, 4"-6", missing parts 160 kV Includes: (2) Disks (1) Complete Ion Source (2) Cryo 10 (1) Diffusion Pump (3) Mechanical Pumps Computer and Custom Tables Spare assemblies Does not includes AT-4 loader De-installed.
EATON NOVA/AXCELIS NV 10-160 ist ein fortschrittlicher Ionenimplantator und Prozessmonitor zur Implantation einer Vielzahl von Materialien in eine Vielzahl von Substraten und anderen Oberflächen. Es ist in der Lage, genaue und zuverlässige Daten über eine Reihe von Implantatbedingungen zu liefern und die gleichbleibende Implantatqualität zu gewährleisten. Das Gerät besteht aus einer Ionenquelle, einer Stromversorgung und einem Monitor, die dem Anwender eine umfassende Ionenstrahlverarbeitungslösung bieten. Der Ionenimplantierer wird mit einer AC/DC-Versorgung versorgt, die eine Reihe von Funktionsspannungen von 0 bis 10kV bereitstellt. Gekoppelt ist dies mit einem patentierten „Charge Neutralization System“, das sicherstellt, dass nach der Implantation keine unbeabsichtigten elektrostatischen Ladungen auf dem Substrat verbleiben, wodurch die Gefahr von Defekten oder Materialresten verringert wird. Das Gerät ist außerdem mit einer Hochdruck-Argonkammer ausgestattet, die höhere Implantatdosen und eine verbesserte Gleichmäßigkeit ermöglicht. Der Monitor ist so konzipiert, dass er Echtzeit-Implantationsparameter bereitstellt und in der Lage ist, bis zu minutengenaue Implantationsinformationen anzuzeigen. Dies ermöglicht eine schnelle und effektive Optimierung des Implantatprozesses. Darüber hinaus ist der Monitor auch in eine statistische Prozesssteuerung (SPC) integriert, die Ergebnisse im Laufe der Zeit aufzeichnet, um Anwendern langfristige Trends zu verstehen und Anpassungen entsprechend vorzunehmen. AXCELIS NV10-160 ist einer der fortschrittlichsten Ionenimplantatoren und Prozessmonitore auf dem Markt. Es bietet eine außergewöhnliche Kontrolle über den Implantationsprozess, um konsistente und zuverlässige Ergebnisse zu gewährleisten. Die Implementierung dieses Tools in Ihren Prozess könnte dazu beitragen, Fehlerquoten zu reduzieren, was letztlich zu verbesserten Produktions- und Kosteneinsparungen führt.
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