Gebraucht THERMA-WAVE TP 3300 #9093527 zu verkaufen

ID: 9093527
Ion implant measurement system.
THERMA-WAVE TP 3300 ist eine Präzisionswafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die präzise und zuverlässige Ergebnisse für Halbleiterscheiben liefert. Dieses System verwendet eine Kombination aus optischen Techniken, Rasterelektronenmikroskopen (SEMs), Wärmebildtechnologien und einer Vielzahl weiterer fortschrittlicher Technologien, um beispiellose präzise Messungen zu erzielen. Es wird von der Halbleiterindustrie verwendet, um konsistente und genaue Dünnschichtdaten zu produzieren, die die Entwicklung hochwertiger Halbleiterprodukte ermöglichen. Das Gerät beginnt mit automatisierter Ausrichtung und Prüfung auf Waferebene. Die Ausrichtmaschine kombiniert ein optisches Mikroskop, taktile Messung und Laserscanning, um physikalische Merkmale auf der Oberfläche des Wafers zu erkennen und abzubilden. Diese Informationen werden dann verwendet, um die Dünnfilmsonde genau zu positionieren, was eine bessere Messgenauigkeit und Wiederholbarkeit ermöglicht. Das Werkzeug umfasst auch eine Vielzahl von thermischen Prüfverfahren, wie Infrarot-Thermographie und Thermographie, um thermische Eigenschaften des Wafers zu charakterisieren, einschließlich Wärmeleitfähigkeit, Wärmebeständigkeit und Wärmekapazität. Diese Informationen werden verwendet, um wichtige Parameter des Geräts wie Prozesstemperatur, Wärmefluss und Wärmeeffizienz zu analysieren. Dazu gehören auch fortgeschrittene Rasterelektronenmikroskope (SEM), die eine tiefergehende Analyse der Mikrostruktur des Wafers ermöglichen. Durch die Verwendung von hochauflösenden SEM-Bildern und -Analysen kann das Modell die Bauteilformen, Korngrößen und physikalischen Defekte des Wafers charakterisieren. Diese Informationen, kombiniert mit anderen Daten aus der thermischen Prüfung bietet ein vollständiges Bild der Leistung des Geräts. Darüber hinaus umfasst TP 3300 eine Vielzahl weiterer fortschrittlicher Messtechniken, wie eine Nahfeld-Rastermikroskopie (NSM), ein Kapazität-Spannungs-Messgerät (CV) und ein Profilometer. Diese Werkzeuge ermöglichen eine umfassendere Analyse der Eigenschaften des Wafers und ermöglichen die Entwicklung hochwertiger, zuverlässiger Halbleiterbauelemente. Das THERMA-WAVE TP 3300 System ist eine fortschrittliche Wafertest- und Messtechnikplattform, die präzise, zuverlässige und umfassende Daten für die Herstellung hochwertiger, zuverlässiger Halbleiterbauelemente liefert. Seine Kombination aus Ausrichtung, thermischer Prüfung und Rasterelektronenmikroskopen machen es zu einem unschätzbaren Werkzeug für jede Halbleiterherstellung.
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