Gebraucht VEECO Nexus IBE 350i #9186537 zu verkaufen

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Hersteller
VEECO
Modell
Nexus IBE 350i
ID: 9186537
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2007
Ion beam etching system, 6" Currently installed and stored in cleanroom 2007 vintage.
VEECO Nexus IBE 350i ist eine Ion Beam Etch (IBE) Ausrüstung von VEECO Instruments Inc. Das System nutzt einen einzigartigen Ionenfräsprozess, um Oberflächen auf Substraten im Nanometerbereich zu strukturieren. Der IBE ist ein spezialisierter Ätzer, der energetische Ionen verwendet, um Material von der Substratoberfläche zu entfernen. Dieses Verfahren ermöglicht die Entfernung von Materialien wie Silizium, Galliumarsenid, Polymeren, Metallen und dielektrischen Materialien mit ausgezeichneter Ätzselektivität und hochauflösenden Eigenschaften. Die Einheit arbeitet, indem sie zuerst die Oberfläche des Materials mit einem energetischen Strahl von Ionen bombardiert. Diese Ionen dringen in die Oberfläche ein und lassen chemische Bindungen brechen, wodurch Material vom Substrat freigesetzt wird. Dieser Prozess wird als Sputtern bezeichnet und macht den Großteil des Ätzprozesses aus. Der Nexus 350i verwendet eine spezielle Dual-Beam-Maschine, die sowohl Sputtern als auch Ätzen gleichzeitig ermöglicht. Dies ermöglicht eine schnellere Ätzzeit und eine verbesserte Prozesssteuerung. Neben dem Doppelstrahl-Tool ist der Nexus 350i auch in der Lage, mit seiner patentierten Ionenstrahl-Diodentechnologie hohe Ionenstromwerte zu liefern. Diese Technologie ist in der Lage, extrem hohe Ionenstromdichten von mehreren Watt/cm2 oder höher zu erzeugen. Diese hohe Stromstärke wird mit ausgezeichneter Genauigkeit kombiniert, wodurch es möglich ist, Merkmale mit einer Auflösung von weniger als 0,2 nm zu ätzen. Der Nexus 350i verfügt zudem über zwei Hauptkammern für optimale Anwendungsvielfalt. Die Hauptkammer dient zum Ätzen und die Nebenkammer zum Sputtern. Beide Kammern sind mit zwei Quellen zur Strahlkontrolle und Strukturierung ausgestattet. Das Asset ist nun mit einem fortschrittlichen Automatisierungssteuerungsmodell integriert, das eine einfache Einstellung und Anpassung der Prozessparameter ermöglicht. Abschließend ist Nexus IBE 350i ein fortschrittlicher Ionenfräser, der hohe Genauigkeit und Auflösung bei schnellen Ätzzeiten erzeugen kann. Die Dual-Beam-Ausrüstung und die fortschrittliche IBE-Technologie bieten dem System optimale Leistung und Präzision, so dass es für eine Vielzahl von Ätzanwendungen verwendet werden kann.
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