Gebraucht BSL / BETA SQUARED LITHOGRAPHY Micralign #9149904 zu verkaufen

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BSL / BETA SQUARED LITHOGRAPHY Micralign
Verkauft
ID: 9149904
Projection mask aligner.
BSL/BETA SQUARED LITHOGRAPHY Micralign ist ein fortschrittlicher Maskenausrichter, der den Herausforderungen der modernen Halbleiterbauelementherstellung gerecht wird. Das kompakte Design, die robuste Leistung und die benutzerfreundliche Benutzeroberfläche machen es zu einer idealen Lösung für folien- und lithographiebasierte Technologien. Das Hauptmerkmal dieses Geräts ist seine Ausrichtungsgenauigkeit, die Ergebnisse mit Submikron-Auflösung bietet. Bei der Ausrichtung verwendet das System zwei Fokussierlinsen, die eine Fokusebene senkrecht zur Achse des Wafers und ein Sichtfeld gleich der Wafergröße erzeugen. Dies trägt dazu bei, höchste Genauigkeit bei Ausrichtung und Registrierung zu gewährleisten. Darüber hinaus sorgt seine motorisierte XY-Stufe mit einer Genauigkeit von 0,1 mm für eine hohe Leistung bei der Registrierung kleiner Geometrien, wie Bondpads, Kontakte und Leitungen. BSL Micralign verfügt auch über Strahlmodulationsfunktionen, um Belichtungsfehler und die Notwendigkeit eines separaten Verschlusses zu reduzieren. Dies ermöglicht eine viel schnellere Belichtungszeit, wodurch das Risiko langer Belichtung von heißen und kalten Stellen reduziert wird. Darüber hinaus gewährleistet seine dynamische Retikelpositionsmessung eine genaue Platzierung der Retikel und kompensiert so jede Bewegung in der Maske. Das Gerät verfügt auch über ein Quarzlampen-Überwachungssystem, das die Lampenintensität überwacht, um Belichtungsschwankungen zwischen den Prozessschritten zu minimieren. Die Lampe kann automatisch auf ihr bestes Belichtungsniveau für jeden Prozesszustand eingestellt werden. Es enthält auch einen automatischen Abflacher, der jede Oberflächenunregelmäßigkeit kompensiert, ein gleichmäßiges Flachfeld liefert und Verzerrungen reduziert. Schließlich ist BETA SQUARED LITHOGRAPHY Micralign mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen wie Not-Aus, Laserabsperrung und elektromagnetischem Feldschutz konzipiert. Darüber hinaus verfügt das System über einen Datenschutz für Benutzer, der eine sichere Speicherung und Verarbeitung sensibler Benutzerdaten ermöglicht. Insgesamt ist Micralign ein fortschrittlicher Maskenausrichter, der hohe Präzision, Genauigkeit und Wiederholbarkeit für die Herstellung von Halbleiterbauelementen bietet. Die kompakte Größe, das robuste Design und die einfache Benutzeroberfläche machen es zu einer idealen Lösung für folien- und lithographiebasierte Technologien.
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