Gebraucht CANON PLA 501 #9198592 zu verkaufen

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Hersteller
CANON
Modell
PLA 501
ID: 9198592
Wafergröße: 3"
Mask aligner, 3".
CANON PLA 501 ist ein Präzisionsmasken-Aligner für photolithographische Verfahren zur Herstellung mikroelektronischer Geräte. Dieser Masken-Aligner hat eine schnelle Abtastrate und eine hohe Genauigkeit, die eine präzise Lithographie von integrierten Schaltungswafern ermöglicht. Es hat eine Belichtungswellenlänge von 248nm und kann leicht für andere Wellenlängen konfiguriert werden. Die optische Ausrüstung wurde entwickelt, um eine stabile Fokus- und Bildgebungsleistung zu gewährleisten. CANON PLA-501 hat einen Wohnbereich von 4 Zoll, mit einer Auflösungsfähigkeit von 0,2 Mikrometer. Die Ausrichtungs- und Lithographie-Genauigkeit wird bei 0,1 µm gehalten. Die Scanmodi umfassen Einzel-, Lang- und Festfeldscannen. Der Aligner kann mit einem patentierten Musteranpassungssystem optimiert werden. Der Belichtungskopf ermöglicht eine Schrittsteuerung und liefert überlegene Leistung. Es hat Hochgeschwindigkeitsverarbeitungsfähigkeit zu bis zu 50 Zyklen pro Minute, mit einem Luftbild-SNR besser als 40 dB für die hohe Qualitätsverarbeitung. Die optionale Substrat-Translationsstufeneinheit ermöglicht einen schnellen Wechsel zwischen verschiedenen Belichtungen und ermöglicht einen höheren Durchsatz bei hoher Genauigkeit. Der Maskenausrichter ist mit einer Temperaturregelmaschine ausgestattet, um die Temperatur für lange Belichtungen zu stabilisieren. Die präzise Temperatur- und Feuchtigkeitsregelung verbessert die Belichtung und hält die höchste Genauigkeit konsequent aufrecht. PLA 501 bietet auch FPD (Flat Panel Display) -Systeme wie LCDs und LED an, die effizienter und leichter sind als andere Anzeigetechnologien. Auch dieses Ausrichtwerkzeug kann Verzerrungen durch Reflexionen und/oder Luftblasen in hochreflektierenden Oberflächen reduzieren. Die leistungsstarke Software driving PLA-501 mask aligner bietet eine benutzerfreundliche Steuerung der Asset-Einstellungen und Parameter. Darüber hinaus ist das Modell mit einer breiten Palette von erweiterten Funktionen ausgestattet, um die Anforderungen der hohen Serienproduktion zu erfüllen. Insgesamt ist CANON PLA 501 ein robuster Maskenausrichter, der zuverlässig und einfach zu bedienen ist. Es ist in der Lage, hochwertige integrierte Schaltungen mit hoher Genauigkeit zu produzieren. Dieses fortschrittliche photolithographische Werkzeug ist eine ideale Wahl für die Herstellung von Anzeigetafeln, Halbleitern und mikroelektronischen Geräten.
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