Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 24 #60054 zu verkaufen

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ID: 60054
Wafergröße: 4"
Aligner, 4" Alignment accuracy (between upper and lower side of the wafer): <2 Microns Alignment table rotation: <2° Double side exposure Cassette to cassette handling Bright field and dark field illumination Diffraction reducing optical systems 350W HBO Lamps.
KARL RUß/MICROTEC MA 24 ist ein automatisierter Maskenausrichter für verschiedene photolithographische Anwendungen. Die Maschine ist hochpräzise ausgelegt und kann Auflösungen von bis zu 0,25 µm erreichen. Es ist mit einer optischen Kamera ausgestattet, mit der die Ausrichtung zwischen Maske und Substrat mit hoher Genauigkeit beurteilt wird. MICROTEC MA 24 umfasst eine Reihe von Funktionen für eine Vielzahl von Anwendungen, wie Schrittausrichtungssteuerung und manuelle Ausrichtungskorrektur. Zum Beginn des Ausrichtvorgangs erhält KARL RUß MA 24 ein Substrat, das in den Halter der Maschine eingelegt wird. Das Substrat kann aus einer Vielzahl von Materialien wie Silizium, Siliziumdioxid und Glas bestehen, und die Größe des Halters ist so konzipiert, dass es sich an verschiedene Substratgrößen anpasst. Nach dem Beladen des Substrats wird die Maske in den Maskenträger eingelegt und dann in perfekter Ausrichtung auf das Substrat in die Maskenpositionierungsstufe eingesetzt. Die MA 24 führt dann einen kurzen Maskenausrichtvorgang vor Beginn des Retikelübertragungsprozesses durch. Der Retikle-Transfer-Prozess erfordert KARL RUß/MICROTEC MA 24, um eine Vielzahl fortschrittlicher Optiken wie LED, Lichtbogenlampen, Bessel-Strahlen und Laserprojektionssystem zu verwenden, um das Muster der Maske genau auf das Substrat zu übertragen. Diese Optik ermöglicht in Kombination mit der Schrittausrichtsteuerung eine sehr präzise Anordnung des Retikels auf dem Substrat. MICROTEC MA 24 enthält auch eine manuelle Ausrichtungskorrektur, die es dem Benutzer ermöglicht, die Ausrichtung der Maske auf dem Substrat für eine genauere Platzierung des Retikels zu ändern. Nach Beendigung des Retikeltransfers geht KARL RUß MA 24 zur Härtungsstufe über, wo das übertragene Muster durch Aushärten des Resistmaterials dauerhaft auf das Substrat übertragen wird. MA 24 kann je nach Anforderungen an die aktuelle Anwendung entweder mit einer UV-Aushärtungslampe oder einer Kochplatte ausgestattet werden. Schließlich kann die Maschine nach dem Aushärten des Musters so eingestellt werden, dass durch Wiederholung des Ausrichtvorgangs eine weitere Maske auf das gleiche Substrat ausgerichtet wird, ohne dass das Substrat entfernt werden muss. Insgesamt ist KARL RUß/MICROTEC MA 24 ein hochpräziser Maskenausrichter, der speziell für verschiedene photolithographische Anwendungen entwickelt wurde. Seine fortschrittliche Optik und Ausrichtungsmerkmale ermöglichen eine hochgenaue Anbringung von Retikeln auf dem Substrat und seine Aushärtungsmerkmale sorgen dafür, dass das Muster dauerhaft auf dem Substrat befestigt wird. Die Fähigkeit der Maschine, das gleiche in der vorherigen Ausrichtung verwendete Substrat nachzuladen, spart Bearbeitungszeit und steigert die Effizienz.
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