Gebraucht ADE / KLA / TENCOR AWIS Constellation #9190875 zu verkaufen

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ID: 9190875
Weinlese: 2000
Wafer inspection system Spare part: ARM 2000 vintage.
ADE/KLA/TENCOR AWIS Constellation ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für die Halbleiterproduktion. Es ist ein Werkzeug zur Analyse verschiedener Wafergeometrien, Defekte und anderer KEs. Das System verwendet automatisierte Fehlerüberprüfungs-, Wafer-Verifikations-, Prozesskontroll- und Fehlerüberprüfungsfunktionen, um eine hohe Genauigkeit zu gewährleisten. Das Gerät besteht aus einer hochauflösenden, automatisierten Inspektionsmaschine, einer ADE AWIS Constellation Platform und einer Vielzahl von Tools zur Datenanalyse. KLA AWIS Constellation Platform ist ein Hochgeschwindigkeits-Scanwerkzeug, das High-End-Funktionen inspizieren kann, um eventuelle Fehler zu erkennen und zu messen. Das Asset ist in der Lage, kleine Fehler auf der Waferoberfläche zu erkennen, wie z. B. Submikronfehler, sowie alle Merkmale, die nicht mit dem Konstruktionsmuster übereinstimmen. Mit der TENCOR AWIS Constellation Platform führt das Modell eine automatisierte Fehlerüberprüfung, Wafer-Verifizierung, Balance-Analyse und Fehlerüberprüfung durch und liefert Anwendern sehr detaillierte Informationen über die Defekte im Wafer. Das Gerät enthält auch ein webbasiertes Webbrowser-Tool, mit dem Benutzer die Ergebnisse schnell vergleichen, interpretieren und teilen können. Das System beinhaltet auch eine Bibliothek von Spektralproben, mit deren Hilfe zukünftige Defekte aufgrund ihres Verhaltens und Auftretens vorhergesagt werden können. Die Einheit kann auch vordefinierte Modellspektralprofile verwenden, um schwer auffindbare Merkmale und Anomalien zu erkennen und zu charakterisieren. Zusätzlich liefert die Maschine Messgrößen für Fehlerverachtung, Fehlerinspektion, Fehlerstandskontrolle und Fehlerfunktionserkennung und -messung. Für fortgeschrittene Anwender umfasst das Tool ein erweitertes Feature-Set, das die 3D-Maskeninspektion und Waferinspektion unterstützt. Es umfasst mehrere Beleuchtungswinkel, eine automatisierte Fehlerklassifizierung und eine Partikelfehleranalyse sowie eine defekte 3D-Rekonstruktion. Schließlich ist das Gerät mit einer Reihe von Herstellungsverfahren für Halbleiterbauelemente kompatibel, was es zu einer All-in-One-Masken- und Wafer-Inspektionslösung für eine breite Palette von Geräteherstellungen macht. Darüber hinaus ist das Modell zertifiziert und hat weltweite Branchenakzeptanz erlangt. Mit seinem umfassenden Funktionsumfang ist AWIS Constellation ein wertvolles Werkzeug zur Verwaltung und Inspektion von Wafereigenschaften während des Herstellungsprozesses von Halbleiterbauelementen.
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