Gebraucht EPI 930 #9171186 zu verkaufen

EPI 930 ist eine Molecular Beam Epitaxy (MBE) Ausrüstung von Riber, Inc. Es ist ein mehrspaltiges Hochvakuum-Verarbeitungssystem, das in der Lage ist, epitaktische Materialien mit höchster Qualität und höchster Präzision anzubauen. Es wird typischerweise verwendet, um integrierte Schaltungen, Solarzellen und andere optoelektronische Geräte herzustellen. 930 verfügt über ein sechsspaltiges oder „Möwenflügel“ -Layout, das es für mehrschichtiges Wachstum, wie ein Übergitter oder eine Heterostruktur, gut geeignet macht. Die Säulen sind so angeordnet, dass die verschiedenen Ergusszellen, Quellen, Geschütze und Ventile alle in der Mitte der Einheit zentriert sind. Dadurch können alle Reagenzien mit minimalen Verlusten parallele Wege zum Substrat zurücklegen. Dadurch kann der Anwender eine Vielzahl von Materialien wie GaAs und InP anbauen. Die Maschine verfügt über eine Hochvakuum-Umgebung (< 1E-9 mbar), die ständig mit einer Turbomolekularpumpe gefiltert und geregelt wird, die von einer Kühlfalle und einem Ionengetter unterstützt wird. Dies ermöglicht eine möglichst saubere Wachstumsumgebung, um Qualität und Präzision zu maximieren. Zusätzlich sorgt ein Fernkammer-Basisdruckmonitor dafür, dass der Gleichgewichtsdruck jederzeit erhalten bleibt. Darüber hinaus ist eine Polysiliziumquelle niedriger Rate in EPI 930 integriert, um die Hintergrunddotierung von ausgewachsenen Schichten besser zu steuern. Um die Temperatur zu steuern und das Wachstum zu erleichtern, weist 930 einen E-Beam-Verdampfer mit niedriger thermischer Masse, einen lastverschlossenen Waferheizer und ein Gasdosierwerkzeug auf. Der lastgesperrte Waferheizer steht in direktem Kontakt mit dem Substrat und sorgt für Präzision und gleichmäßige Erwärmung. Es ist in der Lage, Temperaturen bis zu 700 ° C, so dass der Benutzer eine Vielzahl von Halbleitern, Metallen und Legierungen wachsen. Darüber hinaus ermöglicht ein integrierter Software-Controller eine einfache und präzise Manipulation der Reagenzien von einer einzigen Zentralkonsole aus. Dies ermöglicht geringere Betriebskosten und verringerte Materialabfälle. Darüber hinaus basiert das EPI 930 Asset auf einem schwingungsfreien Luft-Floating-Fundament, das bewegungsbasierte Fehler verhindert. Dies ermöglicht höchste Präzision und Produktionserträge. Insgesamt ist 930 ein fortschrittliches, mehrspaltiges MBE-Modell, das die Herstellung hochpräziser integrierter Schaltungen, Solarzellen und optoelektronischer Geräte ermöglicht. Diese Ausrüstung ist in der Lage, eine Reihe von Materialien mit ausgezeichneter Präzision und reduzierten Betriebskosten zu fertigen.