Gebraucht AAT 9600 #155478 zu verkaufen

AAT 9600
Hersteller
AAT
Modell
9600
ID: 155478
Closed loop batch washer.
AAT 9600 ist eine „andere Waferbearbeitungsanlage“, die speziell für die Herstellung von hochwertigen, einheitlichen Wafern entwickelt wurde. Dieses System verfügt über extrem niedrige Oberflächenrauhigkeitswerte, um sicherzustellen, dass die hergestellten Wafer die höchste auf dem Markt verfügbare Texturqualität aufweisen. 9600 können Substrate unterschiedlicher Größe verarbeiten, die von klein bis groß (bis 200 mm) reichen. Sein oberster Metz Technologies P90 rotierender Galvanikkopf sorgt für gleichmäßige Dicke, Gleichmäßigkeit der Planarisierung und verbesserte Spaltfüllung. Das Substrat wird auf einer hochgenauen Positionsstufe gehalten, so dass alle Teile des Wafers gleichmäßig bearbeitet werden. Seine Prozesssteuerungsfunktionen ermöglichen präzise Anpassungen von Abscheideraten, Dicke und Gleichmäßigkeit. AAT 9600 verfügt auch über eine Reihe von automatisierten Steuerungen, wie Alarmmeldungen, automatische Kalibrierung und Fernüberwachung. Dadurch kann das Gerät fernüberwacht werden, was die Effizienz seiner Arbeitsabläufe verbessert. Die Maschine verfügt zudem über eine benutzerfreundliche Oberfläche, mit der Anwender die Prozessparameter einfach steuern und das Tool auf optimierte Leistung programmieren können. In Bezug auf die Waferbearbeitungsfähigkeit ist 9600 in der Lage, Hohlraumfüllung, Abscheidung und Beschichtung durchzuführen. Die Anlage ist auch in der Lage, eine Reihe von Nachbearbeitungsschritten durchzuführen, darunter chemisch-mechanische Planarisierung (CMP), rückseitige Plasmareinigung und chemisches Ätzen. Diese Verfahren können auch zum Abscheiden von präzisen dielektrischen Folien, zum Sputtern und Polieren sowie zum Texturieren verwendet werden, wodurch hochwertige Wafer gewährleistet werden. Insgesamt ist AAT 9600 entworfen, um Wafer mit der höchsten Oberflächenqualität, Regelmäßigkeit und Gleichmäßigkeit in der Industrie zu produzieren. Die präzise Prozesssteuerung und Automatisierung sorgen für optimale Leistung und geringere Kosten. Darüber hinaus kann dieses Modell Substrate unterschiedlicher Größe verarbeiten und ist damit eine ideale Wahl für die Herstellung hochwertiger Wafer mit zuverlässiger Leistung.
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