Gebraucht AKRION GAMA #9154699 zu verkaufen

AKRION GAMA (Generic Advanced Metrology Analyzer) ist eine anspruchsvolle Lösung für eine breite Palette von berührungslosen messtechnischen Anwendungen in der Mikroelektronikindustrie. Mit fortschrittlichen Scanmikroskoptechnologien ist die Ausrüstung in der Lage, einen breiten Umfang an Waferparametern mit hoher Präzision und Genauigkeit zu messen. GAMA konzentriert sich auf Parameter wie Kanten- und Abstandsprüfung, Schritthöhe, Ebenheit, Größe, Formerkennung, Dicke, Koplanarität und Oberflächeninspektion. Das System ist zerstörungsfrei und verwendet eine telezentrische optische Einheit, die genaue Messungen über den gesamten Wafer mit minimaler Drift gewährleistet. Mit Hilfe von Laserscanning und interferometrischen Techniken erzeugt AKRION GAMA 3D-Kartenmessungen der gesamten Probe in einem einzigen Scan. Dies ermöglicht die Analyse von Merkmalen mit einem hohen Maß an Sicherheit, beispielsweise die Detektion von Partikelverunreinigungen. GAMA besteht aus einem benutzerfreundlichen Steuermodul, einer automatisierten Wafer-Handhabungsmaschine, einem hochauflösenden Bildgebungswerkzeug und einer Musterpositionierungsanlage. Das Steuermodul ist PC-basiert und läuft eigenständig und ermöglicht eine intelligente Steuerung des gesamten Modells. Die automatisierte Wafer-Handhabung kann bis zu 300-mm-Wafer in den unterschiedlichsten Größen handhaben. Das hochauflösende Bildgebungssystem hat eine axiale Auflösung von 0,5 Mikron und ist in der Lage, bis zu 1,0 Millionen Zeilen Bilddaten in einem einzigen Scan zu erfassen. Die Probenpositioniereinheit ermöglicht präzise Messungen unter Mikron. Die Ausrichtung der Probe wird durch eine automatische Kalibrierroutine gewährleistet, die mehrere Messstellen um den gesamten Wafer scannt. Die Maschine kann jede zerstörungsfreie Probe messen, solange sie in die Standardmusterhalter passt. AKRION GAMA kommt mit leistungsfähiger Datenverarbeitungs- und Analysesoftware. Die Software kann verwendet werden, um Ergebnisse für kleine und große Proben zu visualisieren, zu analysieren und zu berichten. Das Tool enthält auch GAMA-spezifische Skripte, mit denen Benutzer die Software an ihre jeweiligen Anwendungen und Anforderungen anpassen können. AKRION GAMA bietet eine leistungsstarke, präzise und zuverlässige Lösung für eine breite Palette von Waferbearbeitungsanwendungen, von der Substratidentifizierung und -messung bis hin zur fortschrittlichen Partikeldetektion und Fehleranalyse. Seine flexible Konfiguration und automatisierte Steuerung machen GAMA zu einer perfekten Wahl für alle Anforderungen an die Waferbearbeitung.