Gebraucht ACCUTHERM AW 820V #9185477 zu verkaufen
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ID: 9185477
Wafergröße: 2"-8"
Rapid thermal processing system, 2"-8"
Vacuum pressure: 50m Torr to 13 Torr / 13 Torr to 760 Torr
Ramp up rate: 10°C to 120°C per/sec
Maximum rate: 200°C
Steady state duration: 0-600 sec/step
Steady state temperature range: 150°C - 1150°C
Maximum: 1250°C
K-Type TC temperature accuracy: ±1°C
Thermocouple temperature accuracy: ±0.5°C
Temperature:
Repeatability: ±0.5°C
Uniformity: ±8°C across a 8"
Gases used:
N2
O2
Ar
He
Forming gas
NH3
N2O2
Main frame with wires
Pentium® class computer with touch screen monitor, 15"
Mouse and standard keyboard
Aluminum oven chamber
Water cooling passages
Door plate with TC connection port
Top and bottom quartz windows
Heating module with 27 (1.2kW) radiation lamps
(4) Bank zones
Top: Front and rear
Bottom: Front and rear
Oven control board
Main control board
Quartz tray: 5"-8" Round wafer
(2) Gas lines with gas MFCs with shut-off valve
Main vacuum valve
Options:
Atmospheric process function
Vacuum pressure measurement and control function
Turbo pump for up to 10-6 Torr
Vacuum pump:
Mechanical
Dry
Multiple process gases
MFCs (Up to 4) with gas control board
K-Type TC assembly for high temperature
Carrier / Susceptor:
Small sample
Transparent substrate
Substrate with metal thin film on top
Omega meter thermocouple calibration
Shutt-off valve for quartz tube
Lamps cooling control
Spare parts
Type:
Vacuum RTP RTA
Stand alone
Manual loading
PC Controller with real time control technology
Lamp heating: Top and bottom
(27) Lamps
(4) Lamp zones
Isolated quartz tube: No
Gold plating plates:
Top and bottom in lamp module only
Water cooled oven chamber
Substrate size, 8"
Substrate thickness: <10 mm
Substrate materials:
Transparent
Semitransparent
Nontransparent
Substrate shape: Round / Square / Abnormity
Highest temperature: 800-1250/1500°C
Temperature sensor: TC, Special TC
Longest steady time @1000 °C: 30 mins
Vacuum pressure control:
50m Torr to 13 torr (Option) / 10-6 Torr
Chamber cooling:
Maximum: 35°C
Dew point: 3°C
Pre-filtered water
Susceptor material: Graphite with SiC coating / Customized
Susceptor size: 4, 5, 6, 8, 4"x 4”, 5" x 3”, 16" x 2”
Base pressure: 50m Tor / 10-6 Torr
Options:
Omega meter: CL23A
Process gas lines with MFCs: 2, 3, 4, 5
Atmospheric function
Susceptor: Base and cover
Power :
3 Phase
50/60 Hz
AC 200V, 208V, 220V, 380V, 415V
Amps: 100
CE Marked.
ACCUTHERM AW 820V ist ein Hochleistungs-Industrieofen und -ofen für eine Vielzahl von Wärmebehandlungs- und Trocknungsanwendungen. Der Ofen ist in sechs Standardgrößen erhältlich, um Produkte verschiedener Größen und Formen innerhalb eines Produktionszyklus unterzubringen. AW 820V ist eine sehr zuverlässige und effiziente Ofenausrüstung, ausgestattet mit ACCUTHERM fortschrittlichen Brenner und Steuerungssystem. Der Temperaturbereich liegt von umgebend bis 850 ° C, mit extrem genauer und stabiler Temperaturstabilität (± 1,5 ° C oder besser). Es ist auch in der Lage, intermittierenden Betrieb - so dass der Endbenutzer das Gerät einschalten, wenn erforderlich, und schalten Sie es aus, wenn nicht in Gebrauch. Der Ofen ist einfach zu bedienen, mit intuitiven Benutzeroberflächen und Überwachungsgeräten, wie einem Touchscreen-LCD-Display und einem SPS-Controller. Der Ofen verfügt auch über eine Selbstdiagnosemaschine, die etwaige Probleme erkennt und so eine schnelle Reaktion auf Alarmzustände liefert. ACCUTHERM fortgeschrittenes Brennerwerkzeug ermöglicht eine präzise Temperaturregelung und Ausgabe durch kontinuierliche Einstellung von Flammengeometrie und Abluftdruck. Außerdem ist der Ofen mit einer Energieeinsparfunktion ausgestattet, die den Kraftstoffverbrauch reduziert und die Effizienz verbessert. ACCUTHERM AW 820V Ofen ist für den sicheren Umgang mit Gefahrstoffen während der Wärmebearbeitung ausgelegt. Die Anlage ist mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, darunter automatische und manuelle Abschaltschalter, Rauchmelder und ein Notabschalter bei Explosionsgefahr. AW 820V Ofen ist ein hocheffizientes und zuverlässiges Modell für eine Vielzahl von industriellen Wärmeverarbeitungs- und Trocknungsanwendungen. Es ist für maximale Sicherheit und einfache Bedienung konzipiert und kommt mit einem fortschrittlichen Brenner und Steuerung Ausrüstung für präzise Wärmeleistung und Temperaturstabilität. Es verfügt zudem über einen Energiesparmodus und zusätzliche Sicherheitsmerkmale für den sicheren Umgang mit Gefahrstoffen.
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